[发明专利]电容式微机械风速风向传感器

权利要求书

1.电容式微机械风速风向传感器，其特征在于：包括衬底(1)、锚区(2)、四个弹簧结构(3)，以及四个测风电容(4)；所述锚区(2)和四个测风电容(4)分别设置在所述衬底(1)的表面；所述四个测风电容(4)分别为结构相同的上测风电容、下测风电容、左测风电容，以及右测风电容，并且所述四个测风电容(4)分别分布在所述锚区(2)的上下左右四个方向；其中，所述四个测风电容(4)分别由一组弧形可动电极和弧形固定电极组成，所述上测风电容的弧形可动电极内凹面朝右，所述右测风电容的弧形可动电极内凹面朝下，所述下测风电容的弧形可动电极内凹面朝左，所述左测风电容的弧形可动电极内凹面朝上；所述四个测风电容(4)分别通过一个弹簧结构(3)连接到所述锚区(2)。

2.根据权利要求1所述的电容式微机械风速风向传感器，其特征在于：所述衬底(1)采用玻璃片衬底。

3.如权利要求2所述的电容式微机械风速风向传感器的制备方法，其特征在于：所述锚区(2)、四个弹簧结构(3)，以及四个测风电容(4)均基于硅片制备而成，包括如下步骤：

步骤1)，在硅片背面刻蚀出所述锚区(2)；

步骤2)，将硅片背面与所述玻璃片(1)衬底进行阳极键合；

步骤3)，在所述键合的硅片正面刻蚀出所述四个测风电容(4)和四个弹簧结构(3)，并且所述四个测风电容(4)分别通过一个弹簧结构(3)连接到所述锚区(2)。