[发明专利]放电灯及光照射装置

说明书

技术领域

本发明涉及例如受激准分子灯等放电灯及具有所述放电灯的光照射装置。

背景技术

目前，作为用于对液晶显示器的玻璃基板或半导体晶片等被照射物进行光清洗等的紫外线照射装置的紫外线灯，使用受激准分子灯。

该受激准分子灯是在使用氙气作为放电用气体的情况下放射出中心波长为172nm的紫外线的灯，构成为在封入有放电用气体的放电管的外表面设有一对外部电极，通过对这一对外部电极施加高频高电压而射出紫外线。

并且，为了对所述一对外部电极施加高频高电压，在一对外部电极上连接引线。作为该引线，使用采用了硅酮电线的引线、或者利用在紫外线下也不易发生劣化且绝缘性及耐热性高的PEA覆盖硅酮电线的硅酮树脂而得到的引线。

然而，就采用了硅酮电线的引线来说，存在紫外线照射到硅酮树脂上而产生白粉化(白垩化)，该白粉化所带来的粉状物落下而污染被照射物的问题。另外，即使是覆盖了PEA的引线，当因劣化而导致在PEA上产生裂纹时，也存在紫外线照射到下层的硅酮树脂而产生白粉化(白垩化)，该白粉化所带来的粉状物落下而污染被照射物的问题。

另外，若使用引线来向外部电极供电，则由于引线通过焊接或钎焊连接在外部电极上，因此在更换紫外线灯时，需要破坏引线的焊接部位或钎焊部位、或者在该焊接部位或钎焊部位以外设置使引线分离的机构，可能会导致结构复杂化。

为了解决上述问题，已知有在不使用引线的情况下向外部电极供电的结构，该结构构成为将具有沿着放电管的外周面的周向超过一圈地卷绕的卷绕部和向离开所述外周面的方向延伸出的突出部的供电端子安装于装置主体，或者构成为将在放电管的上壁和下壁的外表面端部设置的一对连接器端子安装于装置主体侧的插座部，但由于所述卷绕部、所述连接器端子或所述插座部都比所述放电管的外周面更向外侧突出，因此虽然想要将放电管的光照射面无限地接近被照射物配置以提高光照射效率，但该突出面成为障碍，使得接近配置也存在限制。另外，在将所述放电管多个并列配置来使用的情况下，该突出面也成为障碍，还是使得接近配置存在限制。

【专利文献1】日本特开2010-33883号公报

【专利文献2】日本特开2009-231221

【专利文献3】WO2010-032849

发明内容

因此，本发明为了解决上述问题点而提出，其主要课题在于提供一种放电灯及光照射装置，从而能够容易地进行放电管相对于光照射装置的装置主体的安装及拆卸，不需要与设置在放电管上的一对电极连接的引线，由此能够实现小型化及成本降低，并且能够将放电管接近被照射物配置。

即，本发明涉及的放电灯的特征在于，具备放电管；设置在所述放电管上的一对电极；在所述放电管的轴向两端部从轴向朝不同的一方向延伸设置，与所述一对电极连接的一对连接端子，所述一对连接端子在所述放电管的轴向两端部不位于比所述一方向相反侧的侧面靠外侧的位置。

若为这样的放电灯，则与一对电极连接的一对连接端子在放电管的轴向两端部从轴向朝不同的一方向延伸设置，仅通过向设置在装置侧的一对供电构件安装就能够对一对电极进行供电，因此可以省去与一对电极连接的引线。由此，不需要与该引线的连接相伴的焊接或钎焊等复杂的作业，从而能够容易地进行放电管相对于光照射装置的装置主体的安装及拆卸。

另外，若为上述的放电灯，则能够省去所述引线，因此能够实现小型化及成本降低。而且，若照射的是紫外线，则能够消除因紫外线照射到引线上而产生的污染物。

另外，由于一对连接端子在放电管的轴向两端部不位于比一方向相反侧的侧面(光放出面)靠外侧的位置，因此能够将放电管接近被照射物配置。

即，由于连接端子没有比放电管的光放出面靠被照射物侧突出，因此能够将光放出面接近被照射物配置。

优选所述一对连接端子安装于所述放电管的在轴向两端部设置的块体上。

这样，能够将一对连接端子在块体上向从轴向离开的一方向延伸设置。

这里，块体由与放电管相同的材料或种类接近的材料构成。例如，在放电管由合成石英玻璃消除的情况下，块体由合成石英玻璃或熔融石英玻璃形成。另外，可以将块体相对于放电管的轴向两端部焊接，也可以将放电管及块体一体形成。

优选所述一对连接端子安装于所述放电管的在轴向两端部设置的凸缘部上。

这样，通过使用块体，由此能够使放电灯轻量化。

这里，凸缘部是与放电空间隔开、沿着放电管的轴向延伸设置且由与放电管相同的材料或种类接近的材料构成的伸出部分。