[发明专利]基板结构、封装结构及其制造方法有效
申请号: | 201310394695.1 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN104425431B | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 陈天赐;陈光雄;王圣民;李育颖 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 板结 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
一种基板结构、封装结构及其制造方法。基板结构包括一介电结构、一导电结构、一金属加强层与一导电凸块。介电结构具有相对的一第一介电表面与一第二介电表面,以及一介电开口。导电结构具有相对的一第一导电表面与一第二导电表面。第一导电表面与第一介电表面实质上共平面并形成一第一接垫。第二导电表面从介电开口露出以形成一第二接垫。金属加强层配置在介电结构的第二介电表面上。导电凸块配置在介电开口中,并物性且电性连接第二导电表面。导电凸块具有一凸的曲表面。
技术领域
本发明是有关于一种基板结构、封装结构及其制造方法,且特别是有关于一种用以连接焊料凸块的导电凸块的基板结构、封装结构及其制造方法。
背景技术
半导体工业是近年来发展速度最快的高科技工业之一,随着电子技术的日新月异,高科技电子产业的相继问世,使得更人性化、功能更佳的电子产品不断地推陈出新,并朝向轻、薄、短、小的趋势设计。然而,封装技术中,趋势所需的微小间距的导电迹线工艺良率低。薄的基板结构一般有结构太软而难以处理的问题。覆晶技术使用的底胶工艺成本高。此外,焊料凸块有易脱落的问题。
发明内容
本发明是有关于一种基板结构、封装结构及其制造方法,能改善上述缺点至少一者。
根据一实施例,提出一种基板结构,包括一介电结构、一导电结构、一金属加强层与一导电凸块。介电结构具有相对的一第一介电表面与一第二介电表面,以及一介电开口。导电结构具有相对的一第一导电表面与一第二导电表面。第一导电表面与第一介电表面实质上共平面并形成一第一接垫。第二导电表面从介电开口露出以形成一第二接垫。金属加强层配置在介电结构的第二介电表面上。导电凸块配置在介电开口中,并物性且电性连接第二导电表面。导电凸块具有一凸的曲表面。
根据另一实施例,提出一种封装结构,包括一基板结构、一焊料凸块、一芯片与一封装体。基板结构具有相对的一第一基板表面与一第二基板表面,并包括一介电结构、一导电结构与一导电凸块。介电结构具有相对的一第一介电表面与一第二介电表面,以及一介电开口。导电结构具有相对的一第一导电表面与一第二导电表面。第一导电表面与第一介电表面实质上共平面。第二导电表面从介电开口露出。导电凸块配置在介电开口中,并物性且电性第二导电表面。导电凸块具有一凹的曲表面。焊料凸块填充介电开口,物性并电性接触导电凸块,并突出于介电结构的第二介电表面。芯片电性连接至第一导电表面。封装体覆盖芯片。
根据再另一实施例,提出一种基板结构的制造方法,包括以下步骤。提供一介电结构,具有相对的一第一介电表面与一第二介电表面,以及一介电开口。配置一导电结构,导电结构具有相对的一第一导电表面与一第二导电表面。第一导电表面与第一介电表面实质上共平面。形成一金属加强层于第二介电表面上。形成一导电凸块于介电开口中,并物性且电性连接从介电开口露出的第二导电表面。
为让本发明的上述内容能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合附图,作详细说明如下:
附图说明
图1绘示根据一实施例的基板结构的剖面图。
图2绘示根据一实施例的基板结构的剖面图。
图3绘示根据一实施例的基板结构的剖面图。
图4绘示根据一实施例的基板结构的剖面图。
图5绘示根据一实施例的基板结构的剖面图。
图6绘示根据一实施例的封装结构的剖面图。
图7绘示根据一实施例的封装结构的剖面图。
图8绘示根据一实施例的封装结构的剖面图。
图9A至图9S绘示根据一实施例的封装结构的制造方法。
图10A至图10G绘示根据一实施例的封装结构的制造方法。
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