[发明专利]多晶硅片制绒添加剂及其使用方法

权利要求书

1.多晶硅片制绒添加剂，其特征在于，其组分包括：柠檬酸三胺、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、柠檬酸和余量的水。

2.根据权利要求1所述的多晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述多晶硅片制绒添加剂中各组分的质量百分含量为：柠檬酸三胺0.2%～0.5%，聚乙烯吡咯烷酮0.1%～1%，聚乙烯醇0.1%～0.2%，柠檬酸2%～2.5%，余量为水。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述水为去离子水。

4.用于多晶硅片制绒的制绒液，其特征在于，其含有酸溶液和权利要求1-3中任意一项的多晶硅片制绒添加剂，所述多晶硅片制绒添加剂与酸溶液的质量比为0.1～0.6:100；所述酸溶液中配入了7%～14%的HF水溶液和25%～50%的HNO₃水溶液；所述HF水溶液中含有49%的HF，所述HNO₃水溶液中含有69%的HNO₃;其中，所述百分比为质量百分比。

5.多晶硅片的制绒方法，其特征在于，利用权利要求4所述的制绒液对多晶硅片进行表面制绒。

6.根据权利要求5所述多晶硅片的制绒方法，其特征在于，所述表面制绒的制绒温度为5～25℃，制绒时间为45～180s。

7.根据权利要求6所述多晶硅片的制绒方法，其特征在于，其具体步骤包括：

1）配置制绒添加剂：将质量百分比为0.2%～0.5%的柠檬酸三胺、0.1%～1%的聚乙烯吡咯烷酮、0.1%～0.2%的聚乙烯醇、2%～2.5%的柠檬酸加入到余量的水中，混合均匀配成制绒添加剂；

2）配置制绒液：将步骤1）制成的制绒添加剂加到酸溶液中，混合均匀配成制绒液；所述制绒添加剂与酸溶液的质量比为0.1～0.6:100；所述酸溶液中配入了7%～14%的HF水溶液和25%～50%的HNO₃水溶液；所述HF水溶液中含有49%的HF，所述HNO₃水溶液中含有69%的HNO₃;其中，所述百分比为质量百分比；

3）将多晶硅片浸入步骤2）制得的制绒液中进行表面制绒，制绒温度为5～25℃，制绒时间为45～180s。