[发明专利]单晶硅片制绒添加剂及其使用方法

权利要求书

1.单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，其组分包括：聚乙二醇、苯甲酸钠、柠檬酸、水解聚马来酸酐、乙酸钠和余量的水。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述单晶硅片制绒添加剂中各组分的质量百分含量为：聚乙二醇1%～20%，苯甲酸钠0.1%～2.0%，柠檬酸1.0%～5.0%，水解聚马来酸酐1.0%～5.0%，乙酸钠0.1%～1.0%，余量为水。

3.根据权利要求1或2所述的单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述水为去离子水。

4.用于单晶硅片制绒的制绒液，其特征在于，其含有碱溶液和权利要求1-3中任意一项的单晶硅片制绒添加剂，所述单晶硅片制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.2～5:100，所述碱溶液为无机碱或有机碱的水溶液。

5.根据权利要求4所述用于单晶硅片制绒的制绒液，其特征在于，所述碱溶液为0.5～3wt％的氢氧化钠或氢氧化钾水溶液。

6.单晶硅片的制绒方法，其特征在于，利用权利要求4或5所述的制绒液对单晶硅片进行表面制绒。

7.根据权利要求6所述单晶硅片的制绒方法，其特征在于，所述表面制绒的制绒温度为75～90℃，制绒时间为500～1500s。

8.根据权利要求7所述单晶硅片的制绒方法，其特征在于，其具体步骤包括：

1）配置制绒添加剂：将质量百分比为1%～20%的聚乙二醇、0.1%～2.0%的苯甲酸钠、1.0%～5.0%的柠檬酸、1.0%～5.0%的水解聚马来酸酐、0.1%～1.0%的乙酸钠加入到余量的水中，混合均匀配成制绒添加剂；

2）配置制绒液：将步骤1）制成的制绒添加剂加到碱溶液中，混合均匀配成制绒液；所述制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.2～5:100；所述碱溶液为无机碱或有机碱的水溶液；

3）将单晶硅片浸入步骤2）制得的制绒液中进行表面制绒，制绒温度为75～90℃，制绒时间为500～1500s。