[发明专利]吸附台

说明书

技术领域

本发明涉及一种适合于对液晶显示面板、有机发光面板那样的显示板进行保持的吸附台。

背景技术

例如在玻璃基板上形成有电路的液晶显示面板那样的显示板的制造工序中，使用探测仪（日文：プローバ）对该显示板进行电气检查。在该试验中，通常利用负压将作为被检查体的液晶显示面板保持在被组装于探针测仪中的吸附台上。

为了将接受了检查的被检查体自吸附台安全且迅速地卸下，在吸附台上以能自该吸附台的吸附面突出的方式设置有用于使被检查体自该吸附面浮起的多个升降销（例如参照专利文献1）。

当位于突出位置的升降销在吸附面的上方自输送机器人接受被检查体时，该升降销下降到吸附面下。在利用该升降销的下降使被检查体移动到上述吸附面上时，利用组装于吸附台的负压机构使负压作用于上述吸附面。在上述被检查体接受检查的期间内，利用上述负压将该被检查体可靠地保持于上述吸附面。检查后，随着升降销的上升，自吸附面抬起被检查体。由上述升降销自吸附面抬起的上述被检查体不会受到作用于吸附面与被检查体之间的静电的强烈影响，能够由输送机器人自吸附台去除。

但是，由于上述的升降销与被检查体的接触面积较小，所以随着因被检查体的大型化而发生的重量增加，被检查体在与升降销相接触的接触部受到的局部应力增大。包括该玻璃基板在内的被检查体的局部应力的集中会对被检查体施加较大的应力，所以不希望产生该局部应力的集中。

因此，提出了如下这种技术：利用彼此空开间隔地平行配置的许多个固定保持构件、和能在各固定保持构件之间相对于该固定保持构件升降地配置的许多个带状的升降构件构成吸附面，在向该吸附面交接被检查体时，使上述升降构件相对于上述固定保持构件下降（例如参照专利文献2）。

采用专利文献2所述的装置，上述升降构件在其上升位置与上述固定保持构件一同构成平坦的吸附面。当在吸附面与机器人手臂之间交接被检查体时，能够将机器人手臂插入到由于许多个带状的上述升降构件下降而形成的空间内，所以机器人手臂与吸附面不会干渉，而且彼此平行配置的多个固定保持构件以较宽的带状面积支承被检查体，所以不会使较强的局部应力作用于被检查体就能够适当地处理被检查体。

但是，在专利文献2所述的装置中，使用于吸附保持被检查体的负压发挥作用的吸附面由许多个固定保持构件和能够分别在该固定保持构件之间升降的升降构件构成。因此，形成吸附面的支承台的结构复杂化，并且需要在支承台的内部设置用于使许多个升降构件同时升降的机构，由于支承台的结构复杂化，所以存在吸附装置的结构复杂化而高价这样的缺点。

专利文献1：日本特开2002–246450号公报

专利文献2：日本特开2011–29565号公报

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种吸附台，该吸附台能够在交接作为被检查体的显示面板时使该显示面板在吸附面上升降，而不会导致结构复杂化，不会使较强的应力局部作用于该显示面板。

本发明的吸附台用于保持显示面板，该吸附台包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，以便将上述升降条收容在上述支承台内而使上述升降条不会自上述吸附面突出；支承机构，其在上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；升降装置，其与上述支承机构相关联地设置，以便使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收容在上述凹部中的下降位置之间升降，上述支承机构包括：一对支柱，其用于在上述升降条的两端部支承该升降条；导向销，其支承于该支柱和上述升降条中的任意一方；槽，其设于上述支柱和上述升降条中的另一方，用于容许该导向销贯穿。

在本发明的上述吸附台中，用于将上述升降条收容于上述支承台的上述凹部形成为横穿上述支承台的上述吸附面。利用设置在上述支承台的侧部的上述支承机构，使能收容在上述凹部内的上述升降条在被收容在上述凹部内的下降位置与自上述吸附面突出的上升位置之间升降。因而，不必如以往那样将上述支承台形成为许多个固定构件和可动构件的集合体，而且为了向上述吸附台交接上述显示面板，能够利用多个上述升降条使该显示面板在上述吸附面上升降，所以不会导致上述吸附台的结构复杂化，即使是大型的显示面板，也能防止较强的应力局部地作用于该显示面板。

可以将分别设于上述一对支柱或上述升降条的两端部的一对槽中的至少一个槽形成为沿上述升降条的长度方向延伸的细长的槽。利用该细长的槽容许上述升降条的沿长度方向的倾斜，所以能够补偿在该升降条的两端部的的升降动作的偏差。