[发明专利]一种激光频率法测量波片相位延迟的装置

权利要求书

1.一种激光频率法测量波片相位延迟的装置，其特征在于，包括：

氦氖激光器，所述氦氖激光器包括增益管和独立反射镜，所述增益管的两端分别固定着固定反射镜和增透窗片，所述独立反射镜的反射面与所述增透窗片相对，所述固定反射镜与所述独立反射镜形成所述氦氖激光器的谐振腔，所述独立反射镜的非反射面与压电陶瓷相连；

波片支架，所述波片支架位于所述增透窗片和所述独立反射镜之间，所述波片支架包括平行移动导轨和固定在所述导轨上的至少二维角度调节的调节支架，待测波片和/或附加波片分别放置在所述调节支架上，并使所述待测波片和/或附加波片放在所述调节支架上时面法线相对于所述氦氖激光器的激光轴线倾斜；

光强探测单元，所述光强探测单元设置在所述氦氖激光器的一侧，与所述增益管上的固定反射镜相对，用于对所述氦氖激光器输出的两个正交偏振态光强进行测量；

频差探测单元，所述频差探测单元设置在所述氦氖激光器的另一侧，与所述独立反射镜相对，用于测量所述氦氖激光器输出的两个正交偏振态的激光的频率差；

控制器，所述控制器与所述光强探测单元、所述频差探测单元以及所述压电陶瓷电相连，用于控制测量过程并输出测量结果。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光强探测单元包括渥拉斯顿棱镜和第一光电探测器，所述渥拉斯顿棱镜将所述激光器的输出光按正交偏振态分成两束光，所述第一光电探测器设置成分别接收所述两束光。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述频差探测单元包括偏振片、第二光电探测器和频率计，所述偏振片设置成通光方向分别与所述待测波片的快轴和慢轴成45度夹角，所述第二光电探测器设置成探测所述氦氖激光器输出的两个正交偏振态激光通过所述偏振片后形成的光拍频，所述频率计与所述第二光电探测器的输出端电相连。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述增益管上的增透窗片的面法线相对于所述氦氖激光器输出的激光的轴线的倾斜角度至少为15分。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括补偿模块，所述补偿模块用于根据所述倾斜角度，对所述控制器输出的测量结果进行补偿处理。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括设置在所述波片支架上的温度传感器。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括设置在所述增透窗片和所述波片支架之间的孔径光阑。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的装置，其特征在于，所述氦氖激光器输出的激光的波长为632.8nm。