[发明专利]一种微机电双向偏转指针

权利要求书

1.一种微机电双向偏转指针，其特征在于该指针结构由一维双向移动测量游标尺（102）、偏转指针（103）、双向移动电热执行器（101）、连接一维双向移动测量游标尺（102）和双向移动电热执行器（101）的第一水平直梁（104），连接偏转指针（103）的水平短细梁（106）以及连接双向移动电热执行器（101）和水平短细梁（106）的第二水平直梁（105）所组成，其中：

所述一维双向移动测量游标尺（102）由左右两部分组成，其左半部分包括多个相同并顺时针旋转90度的“T”型结构，旋转后的“T”型结构由水平矩形（102-1）和与其垂直的竖直矩形结构（102-2）构成，各个“T”型结构的水平矩形（102-1）与直梁（102-3）垂直连接，“T”型结构的竖直矩形（102-2）的两条长边是对准用的基线，其中，右侧长边为A基线，左边长边为B基线，所有“T”型结构的尺寸完全相同，所有A基线在一条直线上，B基线在另一条直线上；

所述一维双向移动测量游标尺（102）的右半部分由梳齿结构和位于齿上的“凸”型结构构成，梳齿结构由锚区（102-4）和垂直连接到锚区（102-4）的若干齿（102-11）构成，在齿（102-11）上与“T”型结构相邻的一边设计有“凸”型结构（102-5～102-10），所述“凸”型结构的个数等于齿（102-11）的个数减1后乘以2，所述“凸”型结构上与齿垂直的4条直线是另一组对准基线，其中，最左边的为C1对准基线，向右依次为C2、C3、C4对准基线，C1、C2基线间距以及C3、C4基线间距均等于[（“凸”型个数×2-1）×△]，其中△为游标的最小分辨单位；

所述偏转指针(103)由固定在衬底上的锚区(103-1)、指针(103-3)、连接锚区(103-1)和指针（103-3)的细梁(103-2)所组成，指针的旋转圆点位于锚区(103-1)与细梁(103-2)的结合点O；

所述双向移动电热执行器（101）的上下两个门型结构由两根细梁（101-5、101-6），连接两根细梁（101-5、101-6）的连接梁（101-7）构成，上下两个门型结构通过两条短直梁（101-8，101-12）、两条水平细梁（101-9，101-11）和竖直宽梁（101-10）连接，4个锚区（101-1、101-2、101-3、101-4）分成两组，其中一组（101-1、101-2）连接到上面的门型结构，另一组（101-3、101-4）连接到下面的门型结构；

所述微机电双向偏转指针各组成部分的连接关系如下：双向移动电热执行器（101）中宽梁（101-10）的垂直对称中心位置上左右各有一根水平直梁（105，104），第二水平直梁（105）的左端与一水平短细梁（106）连接，短细梁（106）的左端再与指针（103-3）垂直连接，第一水平直梁（104）的另一端和一维双向移动测量游标尺（102）左半部分中直梁（102-3）垂直连接，第二水平直梁（105）的垂直中分线到O点的垂直距离为L；整个结构除固定在衬底上的锚区外全部悬浮于衬底之上。

2.根据权利要求1所述的微机电双向偏转指针，其特征在于，所述一维左右移动测量游标尺的齿和“T”型结构间隔排列，其中右半部分的锚区（102-4）与左半部分的直梁（102-3）平行，右半部分的齿（102-11）与左半部分“T”型结构的底部所对应的水平矩形（102-1）平行。

3.根据权利要求1所述的微机电双向偏转指针，其特征在于：B基线与最上边的“凸”型结构（102-5）的C1对准基线对齐，A基线与B基线的间距比C2、C4或C1、C3间距大1△。

4.根据权利要求1所述的微机电双向偏转指针，其特征在于任何两个上下相邻的“凸”型结构，下面的“凸”型结构比上面的“凸”型结构向左平移2△。