[发明专利]微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率测试结构

权利要求书

1.一种微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率的测试结构，该测试结构由左右两个相对放置的双层薄膜门型结构（101）和测差游标（102）组成，其特征在于：

所述测差游标（102）由左右两部分组成，其左半部分包括多个相同并顺时针旋转90度的“T”型结构，旋转后的“T”型结构由水平矩形（102-1）和与其垂直的竖直矩形（102-2）构成，各个“T”型结构的水平矩形（102-1）与直梁（102-3）垂直连接，“T”型结构的竖直矩形（102-2）的两条长边是对准用的基线，其中，右侧长边为A基线，左边长边为B基线，所有“T”型结构的尺寸完全相同，所有A基线在一条直线上，B基线在另一条直线上；

所述测差游标（102）的右半部分由梳齿结构和位于齿上的“凸”型结构构成，梳齿结构由直梁（102-4）和垂直连接到直梁（102-4）的若干齿（102-11）构成，在齿（102-11）上与“T” 型结构相邻的一边设计有“凸”型结构（102-5～102-10），所述“凸”型结构的个数等于齿（102-11）的个数减1后乘以2，所述“凸”型结构上与齿垂直的4条直线是另一组对准基线，其中最左边的为C1对准基线，向右依次为C2、C3、C4对准基线，C1、C2基线间距以及C3、C4基线间距均等于[（“凸”型个数×2-1）×△]，其中△为游标的最小分辨单位；

最上边的“凸”型结构（102-5）的C2对准基线是测差游标（102）的水平中分线y，水平中分线y到测差游标（102）左半部分直梁（102-3）的左边界和到测差游标右半部分直梁（102-4）右边界的距离相等；

所述双层薄膜门型结构（101）由上下两层薄膜材料（105、104）叠合而成，包括锚区（101-1）和两根直梁（101-2、101-3），直梁的上层材料（105）尺寸略窄于下层材料（104），两根直梁（101-2、101-3）的形状与尺寸相同，两根直梁（101-2、101-3）的一端与锚区（101-1）连接，所述测差游标（102）由下层材料（104）制造，左边双层薄膜门型结构的直梁与测差游标（102）左半部分的直梁（102-3）连接，右边双层薄膜门型结构直梁与测差游标（102）右半部分的直梁（102-4）连接；

整个结构除固定在衬底上的锚区（101-1）外全部悬浮于衬底（100）之上，所述锚区（101-1）由三层材料叠合而成，自衬底（100）向上分别为底层支撑材料（103），下层薄膜材料（104），上层薄膜材料（105）。

2.根据权利要求1所述的微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率的测试结构，其特征在于，所述测差游标的齿和“T”型结构间隔排列，其中右半部分的直梁（102-4）与左半部分的直梁（102-3）平行，右半部分的齿（102-11）与左半部分“T”型结构的底部所对应的水平矩形（102-1）平行。

3.根据权利要求1所述的微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率的测试结构，其特征在于：B基线与最上边的“凸”型结构（102-5）的C2对准基线对齐，A基线与B基线的间距比C2、C4或C1、C3的间距大1△。

4.根据权利要求1所述的微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率的测试结构，其特征在于任何两个上下相邻的“凸”型结构，设置在下面的“凸”型结构比上面的“凸”型结构向左平移2△。