[发明专利]一种五级真空泵配置系统及其应用

权利要求书

1.一种五级真空泵配置系统，包括B1增压泵（1），其特征在于：B1增压泵（1）的入口和废气入口连通，B1增压泵（1）的出口和B2增压泵（2）的入口连通，B2增压泵（2）的出口和B3增压泵（3）的入口连通，B3增压泵（3）的出口和C1冷凝器（4）的入口连通，C1冷凝器（4）的第一出口通过S4A喷射泵（6）和C2冷凝器（8）的第一入口连接，C1冷凝器（4）的第二出口通过S4B切断阀（5）、S4B喷射泵（7）和C2冷凝器（8）的第二入口连接，S4B喷射泵（7）和S4A喷射泵（6）采用并联的型式，C2冷凝器（8）的第一出口依次通过S5A切断阀（9）、S5A喷射泵（10）和C3冷凝器（11）的入口连接，C3冷凝器（11）的出口通过S5A尾气切断阀（12）和废气出口连通，C2冷凝器（8）的第二出口分成两路，一路通过P1泵切断阀（13）、P1水环泵（15）和废气出口连通，另一路通过P2泵切断阀（14）、P2水环泵（16）和废气出口连通。

2.根据权利要求1所述的一种五级真空泵配置系统，其特征在于，所述的P1泵切断阀（13）和P2泵切断阀（14）与C2冷凝器（8）之间均设有气动切断阀。

3.根据权利要求1或2所述的一种五级真空泵配置系统的应用，其特征在于，当准备开始真空冶炼时，开启S5A切断阀（9）、S5A喷射泵（10）、S5A尾气切断阀（12），进行真空度预抽，当真空度达到35Kpa以下时，开启S4B切断阀（5）、S4A喷射泵（6）、S4B喷射泵（7），使真空度继续下降；当降到8Kpa以下时，开启B3增压泵（3）；真空度继续下降到2.7Kpa以下时，先开启B2增压泵（2）和P1泵切断阀（13）和P1水环泵（15），或者P2泵切断阀（14）和P2水环泵（16），再延时5秒关闭S4B切断阀（5）、S4B喷射泵（7）、S5A切断阀（9）、S5A喷射泵（10）和S5A尾气切断阀（12）；当真空度继续下降到0.5Kpa以下时，开启B1增压泵（1）继续抽真空，最终达到设计的真空度，保证真空冶炼的正常进行。

4.根据权利要求3所述的根据权利要求1所述的一种五级真空泵配置系统的应用，其特征在于：在抽真空的过程中，当真空度降到2.7Kpa以下时，用以电力作动力源的P1水环泵（15）或者P2水环泵（16），代替以蒸汽为动力源的S5A喷射泵（10），减少真空系统蒸汽量的消耗，同时作为启动泵的S5A喷射泵（10）的运行成本要比水环泵低。