[发明专利]复合粒子光学透镜的使用方法

权利要求书

1. 一种通过在样品上扫描带电粒子的精细聚焦射束（102）在取样位置形成样品（100）的图像的方法，结果反向散射电子从样品射出，通过检测反向散射电子形成所述图像，通过复合带电粒子透镜聚焦所述射束，所述复合透镜示出：

·  对称轴（104）；

·  靠近所述取样位置的第一磁透镜磁极（106）以及更加远离所述取样位置的第二磁透镜磁极（108）；

·  用于在第一磁透镜磁极和第二磁透镜磁极之间生成聚焦磁场的第一线圈（110）；

·  用于在第一磁透镜磁极和所述取样位置之间生成聚焦浸没磁场的第二透镜线圈（112）；以及

·  具有中心孔的电极（114），所述中心孔用于使带电粒子射束通过透镜到达样品，所述电极用于通过在所述电极和所述样品之间施加电压差来在透镜和样品之间生成减速电场；

所述复合透镜如此具有至少三个参数以确定所述复合透镜的聚焦强度；

所述复合透镜包括示出为具有中心孔的敏感表面（116）的电子检测器，所述敏感表面与所述电极的一部分一致并电气地形成所述电极的一部分；

所述方法包括

·  激励所述复合透镜的浸没线圈、透镜线圈和减速电场以使

○ 精细聚焦射束聚焦在样品上；以及

○ 样品的电压差是预定电压差；

以及

·  检测冲击检测器的反向散射电子，反向散射电子以选定角度α和选定能量E从样品射出，反向散射电子相对于复合透镜的对称轴以角度α离开样品，反向散射电子以能量E离开样品；

其特征在于

·   装备电子检测器以区分第一组和第二组的反向散射电子，所述第一组比所述第二组更靠近对称轴冲击检测器，来自第一组的反向散射电子与第二组的电子相比具有不同组合的α和E；以及

·    第一线圈和第二线圈的激励比率用于控制属于第一组的反向散射电子的部分和属于第二组的反向散射电子的部分，同时保持在样品上的聚焦。

2. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述检测器是装备有两个或更多环形检测器区域的检测器，其中一个环形检测区域用于检测来自所述第一组的电子并且另一环形检测区域用于检测来自所述第二组的电子。

3. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述检测器是像素显示的检测器，并且第一组像素的信号被组合以给出第一信号并且第二组像素的信号被组合以给出第二信号，所述第一信号与所述第一组的冲击电子的量成比例，并且所述第二信号与所述第二组的冲击电子的量成比例。

4. 根据前述任一项权利要求所述的方法，其中，第二检测器定位成比与所述电极一致的检测器更远离所述取样位置，所述第二检测器给出与第三组的反向散射电子成比例的信号，所述第三组的反向散射电子穿过所述中心孔。

5. 一种复合带电粒子透镜，所述复合透镜示出

·  对称轴；

·  靠近取样位置的第一磁透镜磁极（104）以及更加远离所述取样位置的第二磁透镜磁极（106）；

·  用于在第一磁透镜磁极（104）和取样位置之间生成聚焦磁场的浸没线圈（108）；

·  用于在第一磁透镜磁极（104）和第二磁透镜磁极（106）之间生成聚焦磁场的透镜线圈（110）；

·  具有中心孔的电极（112），所述中心孔用于使带电粒子射束通过透镜到达样品，所述电极用于通过在所述电极和所述样品之间施加电压差来在透镜和样品之间生成减速电场；

所述复合透镜如此具有至少三个参数以确定复合透镜的聚焦强度；

所述复合透镜包括示出为具有中心孔的敏感表面（116）的电子检测器，所述敏感表面与电极一致；

其特征在于

·   装备电子检测器以区分来自第一组和第二组的冲击反向散射电子，所述第一组比所述第二组更靠近对称轴冲击。