[发明专利]硅料清洗方法无效
| 申请号： | 201310408998.4 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN103464413A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 刘耀峰;潘振东 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 高玉滨 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅料清洗方法，包括以下步骤：
⑴、配制浓度为5～11%的氢氧化钠溶液，加热至50～90℃；
⑵、将需要清洗的硅料置于步骤⑴氢氧化钠溶液中2～3分钟，捞出硅料；
⑶、依次用浓度为20～30%的盐酸溶液和纯水冲洗硅料。
2.如权利要求1所述硅料清洗方法，其特征在于：步骤⑵中，加热氢氧化钠溶液至温度为70～100℃。
3.如权利要求1所述硅料清洗方法，其特征在于：步骤⑶中纯水冲洗时，同时超声波进行处理。
4.如权利要求1所述硅料清洗方法，其特征在于：步骤⑴中氢氧化钠溶液浓度为8%，加热温度为70℃。
5.如权利要求1所述硅料清洗方法，其特征在于：步骤⑶中盐酸溶液浓度为25%。
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