[发明专利]一种对SIMS数据进行读取和分析的方法及系统

权利要求书

1.一种对SIMS数据进行读取和分析的方法，其特征在于，包括：

输入二次离子质谱SIMS测试结果数据，解析SIMS测试结果数据中所包含的元素；

对SIMS测试结果中的环境元素进行过滤，留下分析元素；

基于设置的分析模式对分析元素进行模式分析；

对分析的分析元素进行功能编辑；

对功能编辑完的分析元素按照设置的格式文档进行内容输出。

2.如权利要求1所述的对SIMS数据进行读取和分析的方法，其特征在于，所述模式分析包括：面密度分析、斜率分析、均值分析、结深分析、厚度分析、厚度标示。

3.如权利要求1所述的对SIMS数据进行读取和分析的方法，其特征在于，所述对分析的SIMS测试结果数据进行功能编辑包括：图表特征编辑、横坐标特征编辑、纵坐标特征编辑、单位编辑、图表标题编辑、图表背景编辑、图表缩放功能编辑。

4.如权利要求1所述的对SIMS数据进行读取和分析的方法，其特征在于，所述对功能编辑完的SIMS测试结果数据按照设置的格式文档进行内容输出中的格式文档包括：EXCEL格式测试数据、TEXT格式文档、Bitmap格式图片。

5.如权利要求1至4任一项所述的对SIMS数据进行读取和分析的方法，其特征在于，所述输入二次离子质谱SIMS测试结果数据包括：

输入一个或者一个以上的SIMS测试结果数据进行多个样品的直接对比分析。

6.一种对SIMS数据进行读取和分析的系统，其特征在于，所述系统包括：

输入模块，用于输入二次离子质谱SIMS测试结果数据，解析SIMS测试结果数据中所包含的元素；

元素过滤模块，用于对SIMS测试结果中的环境元素进行过滤，留下分析元素；

分析模块，用于基于设置的分析模式对分析元素进行模式分析；

功能编辑模块，用于对分析的分析元素进行功能编辑；

输出模块，用于对功能编辑完的分析元素按照设置的格式文档进行内容输出。

7.如权利要求6所述的对SIMS数据进行读取和分析的系统，其特征在于，所述分析模块中的模式分析包括：面密度分析、斜率分析、均值分析、结深分析、厚度分析、厚度标示。

8.如权利要求6所述的对SIMS数据进行读取和分析的系统，其特征在于，所述功能编辑模块中的功能编辑包括：图表特征编辑、横坐标特征编辑、纵坐标特征编辑、单位编辑、图表标题编辑、图表背景编辑、图表缩放功能编辑。

9.如权利要求6所述的对SIMS数据进行读取和分析的系统，其特征在于，所述对功能编辑完的SIMS测试结果数据按照设置的格式文档进行内容输出中的格式文档包括：EXCEL格式测试数据、TEXT格式文档、Bitmap格式图片。

10.如权利要求6至9任一项所述的对SIMS数据进行读取和分析的系统，其特征在于，所述输入模块用于输入一个或者一个以上的SIMS测试结果数据进行多个样品的直接对比分析。