[发明专利]一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种(Nb/C/SiC)_n多层抗氧化涂层，具有重复叠层结构，其特征在于由SiC层、C层和Nb层三种材料重复叠层组成。

2.根据权利要求1所述的多层抗氧化涂层，其特征在于所述的重复叠层结构中每一组循环包括SiC层、C层、Nb层和C层四层，循环次数为2～5次，Nb层的两侧都是C层，SiC的两侧都是C层，最外层为SiC层。

3.根据权利要求1所述的多层抗氧化涂层，其特征在于所述的SiC层的厚度为10～30μm。

4.根据权利要求1所述的多层抗氧化涂层，其特征在于所述的C层的厚度为5～20μm。

5.根据权利要求1所述的多层抗氧化涂层，其特征在于所述的Nb层的厚度为5～20μm。

6.一种(Nb/C/SiC)_n多层抗氧化涂层的制备方法，其特征在于包括下述顺序的步骤：

(1)采用化学气相沉积的方法在石墨或者C/C复合材料的表面沉积一层SiC层；SiC层的沉积条件如下：三氯甲基硅烷为前驱体，氩气为稀释气，氢气为载气，沉积温度800～1200℃，沉积时间5～20h；

(2)通过化学气相沉积法沉积C层，C层的沉积条件如下：以甲烷为源物质，氩气为稀释气体，沉积温度为800～1200℃，沉积时间3～10h；

(3)通过化学气相沉积法沉积Nb层，Nb层的沉积条件如下：以金属Nb为源物质，氩气为稀释气，氯气为反应气体，沉积温度为1000～1600℃，沉积时间3～10h；

(4)重复(2)(1)(3)；

(5)重复(4)2～5次；

(6)重复(2)；

(7)重复(1)。