[发明专利]膜对准装置有效
申请号: | 201310412364.6 | 申请日: | 2013-09-11 |
公开(公告)号: | CN104183530B | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 柳廷和;李承俊 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 对准 装置 | ||
1.一种膜对准装置,包括:
支承固定件,在其上用于设置膜;以及
至少一个膜按压单元,设置成与所述支承固定件邻近,并使所述膜的弯曲端部与所述支承固定件紧密接触,
其中所述膜按压单元包括:
框架构件,包括以预定距离彼此间隔开的第一固定部分和第二固定部分,所述第一固定部分和所述第二固定部分均向上凸起;
旋转构件,可旋转地联接至所述第一固定部分;以及
驱动构件,在其一侧处可旋转地联接至所述第二固定部分并在其另一侧处可旋转地联接至所述旋转构件的一端,并生成能量以允许所述旋转构件枢转,从而使得所述旋转构件的另一端与所述膜相接触。
2.根据权利要求1所述的膜对准装置,其中所述旋转构件呈棒状并形成为在其中部处弯曲,并且弯曲部分可旋转地联接至所述第一固定部分。
3.根据权利要求1所述的膜对准装置,其中所述旋转构件可形成为从处于中央的弯曲部分朝向两端向下倾斜。
4.根据权利要求1所述的膜对准装置,其中所述膜按压单元还包括:
紧密接触构件,所述紧密接触构件可旋转地联接至所述旋转构件的所述另一端,所述膜与所述旋转构件的所述另一端紧密接触。
5.根据权利要求4所述的膜对准装置,其中所述紧密接触构件为辊或顶支承件。
6.根据权利要求1所述的膜对准装置,其中所述驱动构件包括
缸体,可旋转地联接至所述第二固定部分;
活塞,至少部分地接纳在所述缸体中,以进行直线的往复运动;以及
联接部分,形成在所述活塞的端部,以被可旋转地联接至所述旋转构件的与所述缸体邻近的端部。
7.根据权利要求6所述的膜对准装置,其中所述驱动构件中所包括的所述缸体为液压缸或气压缸。
8.根据权利要求1所述的膜对准装置,其中所述膜按压单元还包括:
移动构件,形成在所述框架构件的下侧上;以及
能量生成构件,可滑动地紧固至所述移动构件并生成能量以允许所述移动构件进行直线的往复运动。
9.根据权利要求1所述的膜对准装置,其中:
设有两个所述膜按压单元,并且
所述两个膜按压单元设置成与所述支承固定件的两端邻近并且使所述膜的两个弯曲端部与所述支承固定件紧密接触。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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