[发明专利]一种测试结构失效分析方法

权利要求书

1.一种测试结构失效分析方法，所述测试结构为一金属互连层的长金属线，其特征在于，该方法包括：

通过通孔将长金属线电性连接至顶层金属互连层表面的N个测试垫，所述测试垫等距离分布，将长金属线均匀分为N-1段，N为大于等于3的整数；

在每两个相邻测试垫的距离范围内，等距离设置n列贯穿顶层金属互连层至长金属线的衬垫，n为大于等于2的整数；

对N个测试垫依次进行相邻两两电性测量，确定第一测试垫和第二测试垫之间的长金属线具有断点；

去掉测试垫层，显露出顶层金属层及n列衬垫的顶层；

通过电压对比VC分析，在第一测试垫和第二测试垫之间的距离范围内确定第一列衬垫和第二列衬垫之间的长金属线具有断点；

去层至长金属线层，通过VC分析，在第一列衬垫和第二列衬垫之间的距离范围内确定长金属线具体断点位置。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对N个测试垫依次进行相邻两两电性测量，确定第一测试垫和第二测试垫之间的长金属线具有断点的方法包括：

在第一测试垫和第二测试垫之间施加电压，进行电阻测量，如果电阻值超过预定值，则确定第一测试垫和第二测试垫之间的长金属线具有断点。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述通过VC分析，在第一测试垫和第二测试垫之间的距离范围内确定第一列衬垫和第二列衬垫之间的长金属线具有断点的方法包括：

将第一测试垫所对应的顶层金属互连层接地，将第二测试垫所对应的顶层金属互连层悬置；

通过扫描电镜确定第一列衬垫和第二列衬垫之间的长金属线具有断点。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述去层至长金属线层的方法包括：采用湿法刻蚀、手动研磨或者反应离子刻蚀方法的一种或者多种的任意组合，去除长金属线上方的结构层，显露出长金属线层。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述通过VC分析，在第一列衬垫和第二列衬垫之间的距离范围内确定长金属线具体断点位置的方法包括：

将第一列衬垫所对应的长金属线位置接地，将第二列衬垫所对应的长金属线位置悬置；

通过扫描电镜确定长金属线具体断点位置。