[发明专利]微机械压电射流陀螺

权利要求书

1.一种微机械压电射流陀螺，其特征为该陀螺由底座、外壳组装成腔体、安装腔体内的敏感元件、信号处理电路组成，绝缘子用作电源和信号的引线，电源和信号经底座上玻璃灌装的绝缘子接线引出；所述敏感元件的各部件采用微机械制作工艺成型在硅板内；敏感元件包括有振膜、泵室、气体进口、集流槽、射流喷嘴、射流室、气体出口和铂(Pt)薄膜热敏电阻，振膜制作在硅板边缘，振膜上被覆金属膜电极，振膜以下为泵室，位于泵室近两端处有两个所述气体进口，进口的剖面为倒梯形，两个进口下游是两个剖面为矩形的气体馈送口，将气体馈送给集流槽，集流槽的深度比其他凹槽深，射流室剖面为矩形，位于硅片中部，射流室与集流槽之间有射流喷嘴，射流室的另一端有气体回流泵室的所述气体出口，气体出口位于两气体进口中间，气体出口剖面为正梯形；铂(Pt)薄膜热敏电阻位于射流室顶部，由Si、SiO2和金属铂(Pt)构成的三明治结构，硅板内有金属电极，作为热敏电阻的输出极；压电陶瓷微泵采用压电陶瓷双晶片，在晶片上下两个圆平面被覆金属膜电极，晶片被覆电极后粘接在振膜有金属膜电极的一侧，构成压电陶瓷微泵。

2.根据权利要求1所述的微机械压电射流陀螺，其特征在于：集流槽的截面面积是气体馈送口的2倍。

3.根据权利要求1所述的微机械压电射流陀螺，其特征在于：压电陶瓷微泵气路采用动态无阀被动泵，这种动态无阀被动泵没有阀门，是将气体进口通道截面作成倒梯形，气体出口通道作成正梯形，倒梯形的气体进口在相同压力变化条件下进气速率大于回气速率，正梯形的气体出口出气速率大于回气速率；利用这种气体阻力代替单向阀的作用，实现气体的定向流动。