[发明专利]一种微动变形像差校正装置

权利要求书

1.一种微动变形像差校正装置，用于对一变形镜面形进行调节，其特征在于，包括：

若干驱动单元，所述驱动单元分布于所述变形镜边缘，用于从不同位置驱动所述变形镜以发生面形变化；

镜座，与所述驱动单元连接，用于支撑所述驱动单元及变形镜。

2.如权利要求1所述的微动变形像差校正装置，其特征在于，所述驱动单元均匀分布于所述变形镜边缘，所述每一驱动单元均包括温度控制器、导热块和双金属片，所述温度控制器吸热和放热，经所述导热块传递热量后改变所述双金属片的温度使其发生弯曲变形。

3.如权利要求2所述的微动变形像差校正装置，其特征在于，所述双金属片由具有两种或多种线性膨胀系数的金属熔合而成。

4.如权利要求2所述的微动变形像差校正装置，其特征在于，所述温度控制器由热电势差最大的P-N半导体制造而成。

5.如权利要求1所述的微动变形像差校正装置，其特征在于，所述驱动单元下上均覆盖隔热块用于隔绝所述驱动单元的热量传递，所述隔热块通过一压圈和蝶形弹簧压紧。

6.一种微动形变像差的校正装置，用于对物镜内变形镜的面形进行调节，其特征在于，包括：

一变形镜，所述变形镜发生形变时补偿所述物镜像差；

若干驱动单元，所述驱动单元分布于所述变形镜边缘，用于从不同位置驱动所述变形镜

以发生面形变化；

一镜座，与所述驱动单元连接，用于支撑所述驱动单元及变形镜；

一波像差传感器，用于检测所述物镜各阶像差；

一主控制单元，用于根据所述波像差传感器的检测结果，计算各阶像差补偿值；

微动机构控制单元，根据所述补偿值使驱动单元驱动所述变形镜发生形变。

7.如权利要求6所述的微动形变像差的校正装置，其特征在于，所述驱动单元均匀分布于所述变形镜边缘，所述每一驱动单元均包括温度控制器、导热块和双金属片，所述温度控制器吸热和放热，经所述导热块传递热量后改变所述双金属片的温度使其发生弯曲变形，进而使得所述变形镜发生形变。

8.如权利要求7所述的微动变形像差校正装置，其特征在于，所述双金属片由具有两种或多种线性膨胀系数的金属熔合而成。

9.如权利要求7所述的微动变形像差校正装置，其特征在于，所述温度控制器由热电势差最大的P-N半导体制造而成。

10.如权利要求6所述的微动变形像差校正装置，其特征在于，所述驱动单元下上均覆盖隔热块用于隔绝所述驱动单元的热量传递，所述隔热块通过一压圈和蝶形弹簧压紧。

11.如权利要求7所述的微动变形像差校正装置，其特征在于：所述微机构控制单元控制所述温度控制器的电压大小和方向，实现温度控制器的吸热和放热。