[发明专利]用于强流电子束能量沉积深度测量的薄片阵列式量热计

权利要求书

1.用于强流电子束能量沉积深度测量的薄片阵列式量热计，包括依次设置在电子束入射轴线上的准直单元、吸热单元和量热单元；其特征在于：

所述准直单元为石墨准直孔；所述石墨准直孔的内径略大于电子束直径；

所述吸热单元包括多层吸热薄片、设置在两相邻石墨烯薄片之间的聚四氟乙烯环；所述多层薄片中的第一层吸热薄片为圆形薄片，其余吸热薄片为环形薄片；所述环形薄片的内径依次增大；

所述量热单元包括壳体、透红外窗、红外相机和计算机；所述壳体的一端密封固定在吸热单元的末端，其另一端与透红外窗密封连接；所述第一层吸热薄片、壳体和红外透窗构成真空腔体；

所述红外相机设置在透红外窗的后方，所述红外相机和计算机相连。

2.根据权利要求1所述的用于强流电子束能量沉积深度测量的薄片阵列式量热计，其特征在于：所述吸热薄片为石墨材料或石墨烯材料。