[发明专利]一种三轴微机械加速度计

权利要求书

1.一种三轴微机械加速度计，其特征在于：包括基板（1）和固定安装在基板（1）上的加速度计主体（2）；所述加速度计主体（2）包括质量块（3）、z轴检测电极板（7）和平面检测单元，其中平面检测单元由四个检测模块组成，四个模块分别沿x轴和y轴分布在质量块（3）的周边，且分别沿x轴和y轴以基板（1）中心点对称均匀分布；所述平面检测模块包括谐振器、杠杆梁（5）和牵引梁（6），其中谐振器固定在基板（1）上，且与杠杆梁（5）相连，杠杆梁（5）一端固定在基板上，另一端与牵引梁（6）相连，牵引梁（6）一端与杠杆梁（5）相连，另一端与质量块（3）相连；所述z轴检测电极板（7）固置在基板（1）上对应于质量块（3）的位置。

2.根据权利要求1所述的一种三轴微机械加速度计，其特征在于：所述谐振器包括谐振器主体（8）和固定电极（9），所述谐振器主体（8）为单梁结构或双梁音叉结构，所述固定电极（9）固置在基板（1）上。

3.一种三轴微机械加速度计，其特征在于：包括基板（1）和固定安装在基板（1）上的加速度计主体（2）；所述加速度计主体（2）包括质量块（3）、z轴检测电极板（7）和平面检测单元，其中平面检测单元由四个检测模块组成，四个模块分别沿x轴和y轴分布在质量块（3）的周边，且四个模块分别沿x轴和y轴以基板（1）中心点对称均匀分布；所述平面检测模块包括谐振器、杠杆梁A（5）、杠杆梁B（10）、牵引梁A（6）和杠杆支撑梁（11），其中谐振器两端分别与杠杆梁A（5）和杠杆梁B（11）相连，杠杆梁A（5）一端固定在基板上，另一端与牵引梁A（6）相连，牵引梁A（6）一端与杠杆梁A（5）相连，另一端与质量块（3）相连，杠杆梁B（10）一端与谐振器相连，另一端与质量块（3）相连，杠杆支撑梁（11）一端与杠杆梁B（10）相连，另一端固置在基板（1）上；所述z轴检测电极板（7）固置在基板（1）上对应于质量块（3）的位置。

4.根据权利要求3所述的一种三轴微机械加速度计，其特征在于：所述谐振器包括谐振器主体（8）和固定电极（9），所述谐振器主体（8）为单梁结构或双梁音叉结构，所述固定电极（9）固置在基板（1）上。

5.根据权利要求4所述的一种三轴微机械加速度计，其特征在于：所述质量块（3）包括内质量块（3a）、外质量块（3b）和外质量块支撑梁（3c），其中内质量块（3a）对应基板（1）的中心部位，外质量块（3b）和外质量块支撑梁（3c）为四个，其中两个沿x轴以基板（1）中心点对称分布，另外两个沿y轴以基板（1）中心点对称分布；所述外质量块支撑梁（3c）一端固定在基板上，另一端与外质量块（3b）相连。