[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 201310418771.8 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103658978B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李道炯;李忠浩;尹盛湜;朴东真 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会 |
| 主分类号： | B23K26/067 | 分类号： | B23K26/067;B23K26/06;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 刘灿强,刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
1.一种激光加工装置，包括：
激光发生器，用于产生激光束；
衍射光学元件，将从所述激光发生器产生的激光束分为多个子激光束；
激光束数量调整器，调整所述多个子激光束的数量。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，所述激光束数量调整器包括：
激光束阻断器，阻挡所述多个子激光束中的一部分子激光束；
位置调整器，调整所述激光束阻断器的位置。
3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，所述位置调整器包括：
水平位置调整器，调整所述激光束阻断器的水平位置；
垂直位置调整器，调整所述激光束阻断器的垂直位置。
4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其中，所述激光束阻断器包括水平阻断部和垂直于所述水平阻断部的垂直阻断部。
5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其中，所述垂直阻断部连接于所述水平阻断部的端部。
6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其中，所述激光束阻断器为L字形状。
7.根据权利要求5所述的激光加工装置，其中，还包括连接所述水平位置调整器和所述垂直位置调整器的连接部。
8.根据权利要求7所述的激光加工装置，其中，所述垂直位置调整器连接于所述垂直阻断部。
9.根据权利要求7所述的激光加工装置，其中，所述水平位置调整器连接于所述水平阻断部。
10.根据权利要求4所述的激光加工装置，其中，所述水平阻断部和垂直阻断部彼此分离。
11.根据权利要求10所述的激光加工装置，其中，所述水平位置调整器连接于所述垂直阻断部，所述垂直位置调整器连接于所述水平阻断部。
12.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，还包括补偿基于所述多个子激光束之间的相对位置的像差的像差补偿光学系统。
13.根据权利要求12所述的激光加工装置，其中，所述像差补偿光学系统包括：
第一像差补偿光学系统，在所述子激光束的行进路径上位于所述激光束数量调整器的前方；
第二像差补偿光学系统，在所述子激光束的行进路径上位于所述激光束数量调整器的后方。
14.根据权利要求1所述的激光加工装置，还包括消除多个子激光束中的高阶子激光束的高阶激光束阻断掩模。
15.根据权利要求1所述的激光加工装置，还包括位于所述衍射光学元件的前方而将具有均匀强度的激光束引入所述衍射光学元件的激光束扩散器。
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