[发明专利]真空执行器在线检测装置及其检测方法

权利要求书

1.真空执行器在线检测装置，包括有基座，其特征在于：所述的基座上设置有定位支架，所述定位支架的周围设置有密封性能测试组件，所述的密封性能测试组件包括有主密封测试组件与副密封测试组件，所述定位支架的测试接口预留位置处设置有位移监测组件。

2.根据权利要求1所述的真空执行器在线检测装置，其特征在于：所述的定位支架底部设置有充气头，所述定位支架上设置有抵位挡块。

3.根据权利要求1所述的真空执行器在线检测装置，其特征在于：所述的主密封测试组件包括有定位架，所述的定位架上设置有气缸，所述的气缸端头设置有密封组件，所述的密封组件为密封圈；所述的副密封测试组件包括有定位架，所述的定位架上设置有气缸，所述的气缸端头设置有密封组件，所述的密封组件为密封圈。

4.根据权利要求3所述的真空执行器在线检测装置，其特征在于：所述的气缸上设置有压力传感器。

5.根据权利要求1所述的真空执行器在线检测装置，其特征在于：所述的位移监测组件包括有导轨，所述的导轨上设置有位移传感器，所述位移传感器的工作端头设置有测试头，所述移传感器的尾部连接有传动链。

6.真空执行器在线监测方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤①，将真空执行器放置到定位支架上进行定位；

步骤②，采用密封性能测试组件与位移监测组件对真空执行器进行密封；

步骤③，对真空执行器进行步进式充气，获取检测数据；

步骤④，释放密封性能测试组件与位移监测组件；

步骤⑤，移除真空执行器。

7.根据权利要求6所述的真空执行器在线监测方法，其特征在于：所述的步骤①中，真空执行器的主通气孔与充气头相连。

8.根据权利要求6所述的真空执行器在线监测方法，其特征在于：所述的步骤②中，密封性能测试组件所属的主密封测试组件与副密封测试组件，通过各自的气缸将密封组件顶出，通过气缸上连接的压力传感器，对真空执行器的通气孔进行连接封堵，位移监测组件的测试头伸入真空执行器内。

9.根据权利要求6所述的真空执行器在线监测方法，其特征在于：所述的步骤③步进式充气中，首先充入0.2bar气压，若测试头没有进行活动，则判断为首段检测合格；之后，充入0.6bar气压，若测试头进行活动，则判断为二段检测合格；接着，充入0.8bar气压，若测试头没有进行活动，则判断为尾段检测合格。

10.根据权利要求6所述的真空执行器在线监测方法，其特征在于：所述的步骤③中测试头的活动带动位移监测组件顺延导轨进行运动，运动数据上传至线检测装置相连的数据处理组件。