[发明专利]过孔的检测方法和检测装置

权利要求书

1.一种过孔的检测方法，其特征在于，所述过孔设置于膜层中，所述检测方法包括：

向所述过孔的内壁发射入射光线；

接收由所述内壁反射形成的第一反射光线和由所述膜层的下底面反射形成的第二反射光线；

根据所述第一反射光线和所述第二反射光线生成干涉图样；

根据所述干涉图样检测所述过孔的内壁参数。

2.根据权利要求1所述的过孔的检测方法，其特征在于，所述向所述过孔的内壁发射入射光线之前，还包括：

获取所述过孔的坐标位置。

3.根据权利要求1所述的过孔的检测方法，其特征在于，所述内壁参数包括：内壁平整度，所述根据所述干涉图样检测所述过孔的内壁参数包括：

判断所述干涉图样中是否包括弯曲的干涉条纹；

若判断出所述干涉图样中未包括弯曲的干涉条纹，则判定所述内壁平整度为平整；

若判断出所述干涉图样中包括弯曲的干涉条纹，则判定所述内壁平整度为不平整。

4.根据权利要求1所述的过孔的检测方法，其特征在于，所述内壁参数包括内壁倾斜角，所述根据所述干涉图样检测所述过孔的内壁参数包括：

根据所述干涉图样获取所述干涉图样中干涉条纹的总数N；

根据所述干涉条纹的总数，通过计算出所述内壁倾斜角，其中λ为入射光线的波长，n为膜层的折射率，L为发射到所述内壁上的入射光线的水平宽度。

5.根据权利要求4所述的过孔的检测方法，其特征在于，所述向所述过孔的内壁发射入射光线之前还包括：

调整发射所述入射光线的光源的位置，使得发射到所述内壁上的入射光线的水平宽度为设定宽度L。

6.根据权利要求4所述的过孔的检测方法，其特征在于，所述根据所述干涉条纹的总数，通过计算出所述内壁倾斜角之后，还包括：

判断所述内壁倾斜角是否等于预先设定角；

若判断出所述内壁倾斜角等于预先设定角，则判定所述内壁倾斜角合格；

若判断出所述内壁倾斜角不等于预先设定角，则判定所述内壁倾斜角不合格。

7.一种过孔的检测装置，其特征在于，所述过孔设置于膜层中，所述检测装置包括：

发射装置，用于向所述过孔的内壁发射入射光线；

接收装置，用于接收由所述内壁反射形成的第一反射光线和由所述膜层的下底面反射形成的第二反射光线；

生成装置，用于根据所述第一反射光线和所述第二反射光线生成干涉图样；

检测子装置，用于根据所述干涉图样检测所述过孔的内壁参数。

8.根据权利要求7所述的过孔的检测装置，其特征在于，所述内壁参数包括：内壁平整度，所述检测子装置包括：

第一判断装置，用于判断所述干涉图样中是否包括弯曲的干涉条纹；

第一判定装置，用于若判断出所述干涉图样中未包括弯曲的干涉条纹，则判定所述内壁平整度为平整；

第二判定装置，用于若判断出所述干涉图样中包括弯曲的干涉条纹，则判定所述内壁平整度为不平整。

9.根据权利要求7所述的过孔的检测装置，其特征在于，所述内壁参数包括内壁倾斜角，所述检测子装置包括：

获取模块，用于根据所述干涉图样获取所述干涉图样中干涉条纹的总数N；

计算模块，用于根据所述干涉条纹的总数，通过计算出所述内壁倾斜角，其中λ为入射光线的波长，n为膜层的折射率，L为发射到所述内壁上的入射光线的水平宽度。

10.根据权利要求9所述的过孔的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

调整装置，用于调整发射所述入射光线的光源的位置，使得发射到所述内壁上的入射光线的水平宽度为设定宽度L。

11.根据权利要求9所述的过孔的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

第二判断装置，用于判断所述内壁倾斜角是否等于预先设定角；

第三判定装置，用于若判断出所述内壁倾斜角等于预先设定角，则判定所述内壁倾斜角合格；

第四判定装置，用于若判断出所述内壁倾斜角不等于预先设定角，则判定所述内壁倾斜角不合格。