[发明专利]光刻环形照明模式产生装置

权利要求书

1.一种用于投影光刻机的光刻环形照明模式产生装置，包括激光源，特征在于沿激光源输出光束方向依次是第一透镜、第二透镜、锥形光束产生器件、平凸锥透镜，所述的平凸锥透镜固定在直线位移台上，该直线位移台带动所述的平凸锥透镜沿激光源输出光束方向直线运动，所述的第一透镜和第二透镜构成扩束准直镜组，所述的锥形光束产生器件采用具有三个光轴的双折射晶体制成，沿三个光轴方向的折射率分别n₁、n₂、n₃，并且满足n₁<n₂<n₃，所述的折射率为n₂的光轴与激光束输出方向平行，所述的锥形光束产生器件的外形为长方体，该长方体与激光源输出光束方向平行的边长为L，与激光源输出光束方向垂直面为正方形，边长为W，并满足下列关系：

W>L·tan(2(n2-n1)(n3-n2)/n2).]]>

2.根据权利要求1所述的光刻环形照明模式产生装置，其特征在于所述的第一透镜和第二透镜为球面镜、非球面镜或柱面镜。

3.根据权利要求1所述的光刻环形照明模式产生装置，其特征在于所述平凸锥透镜的锥角θ大于10°。