[发明专利]采用放大自发辐射光源测试光学元件损伤阈值装置和方法

权利要求书

1.一种采用放大自发辐射光源测试光学元件损伤阈值装置，特征在于该装置包括ASE光源（1）、能量衰减器（2）、λ/2波片（3）、第一反射镜（4）、第二反射镜（5）、第三反射镜（6）、第四反射镜（7）、第一平凸透镜（8）、平凹透镜（9）、楔形取样镜（10）、供待测光学元件设置的样品平台（11）、小孔光阑（12）、第二平凸透镜（13）、能量计（14）、CCD探测器（15）和计算机（16），沿所述的ASE光源（1）的激光输出方向依次是所述的能量衰减器（2）、λ/2波片（3）、第一高反镜（4）、第四高反镜（7）、第一平凸透镜（8）、平凹透镜（9）、楔形取样镜（10）和待测光学元件，在所述的楔形取样镜（10）的反射光方向分别设有第二高反镜（5）和第三高反镜（6），在第二高反镜（5）的反射光方向是所述的CCD探测器（15），在第三高反镜（6）的反射光方向依次是所述的小孔光阑（12）、第二平凸透镜（13）和能量计（14），所述的计算机（16）的输出端与所述的样品平台（11）的控制端相连，所述的CCD探测器（15）的输出端与所述的计算机（16）的第一输入端相连，所述的能量计（14）的输出端与所述的计算机（16）的第二输入端相连，所述的计算机（16）具有采集光场分布和光束能量的软件以及控制样品平台（11）的驱动软件。

2.利用权利要求1所述的装置对光学元件损伤的测试方法，其特征在于该方法包括下列步骤：

①将待测光学元件置于待测样品平台（11）上，在计算机的软件界面设置待测样品的移动步长、每行测试点数m及行数n；

②所述的ASE光源（1）辐照测试点时采用1-on-1的方法：所述的计算机（16）驱动所述的ASE光源（1）对对测试点辐照一个光脉冲，所述的CCD探测器（15）记录光场分布和所述的能量计（14）记录ASE光源能量大小送入所述的计算机（14）存储；所述的计算机驱动待测样品平台（11）控制待测光学元件沿X的方向移动一个步长，保持辐照的能量密度相等地进行辐照测量，直至第i＝1行中m个测试点辐照完；

③辐照完一行测试点后，减小ASE光源的能量密度，计算机控制样品沿着Y方向移动一个步长，重复步骤②，继续辐照另一行的m个测试点；

④重复步骤③，直到样品表面某行m个点均未发现有损伤；

⑤计算机统计每行测试点产生损伤的点数，计算每行测试点损伤几率，即损伤几率=损伤点数/受辐照点数m；

⑥计算机以ASE能量密度为横轴，损伤几率为纵轴，生成损伤几率与激光能量密度对应的分布图，通过拟合出零损伤几率，计算并显示被测样品的ASE损伤阈值。