[发明专利]太阳电池器件的背电极及其制备方法以及太阳电池器件

权利要求书

1.一种太阳电池器件的背电极，其特征在于，包括金属导电层和层叠于所述金属导电层上的氧化铝钝化层，所述氧化铝钝化层上具有多个纳米尺寸的孔洞。

2.根据权利要求1所述的太阳电池器件的背电极，其特征在于，多个所述纳米尺寸的孔洞呈周期阵列排布。

3.根据权利要求1所述的太阳电池器件的背电极，其特征在于，每个所述纳米尺寸的孔洞的形状为圆柱形，该圆柱形的孔径为d，相邻两个所述纳米尺寸的孔洞的横截面的几何中心的距离为L，太阳电池器件的光吸收层的厚度为t，载流子在所述光吸收层的扩散长度为k，所述L、t和k满足：

(22L-d2)≤k2-t2.]]>

4.根据权利要求3所述的太阳电池器件的背电极，其特征在于，0.1μm≤d≤2μm。

5.根据权利要求3所述的太阳电池器件的背电极，其特征在于，0.5μm≤L≤10μm。

6.根据权利要求1所述的太阳电池器件的背电极，其特征在于，所述金属导电层的厚度为0.1微米～2微米。

7.根据权利要求1所述的太阳电池器件的背电极，其特征在于，所述氧化铝钝化层的厚度为5纳米～100纳米。

8.一种太阳电池器件的背电极的制备方法，包括如下步骤：

采用磁控溅射制备金属导电层；

在所述金属导电层的一个表面上涂覆光刻胶，曝光显影后在所述金属导电层的表面上形成光刻胶膜岛；

采用原子层沉积工艺在形成有所述光刻胶膜岛的金属导电层的表面上沉积氧化铝钝化层；及

除去所述光刻胶膜岛，在所述氧化铝钝化层上形成多个纳米尺寸的孔洞，得到太阳电池器件的背电极。

9.一种太阳电池器件，包括依次层叠的衬底、背电极、光吸收层、缓冲层、窗口层和透明电极层，其特征在于，所述背电极包括层叠于所述衬底上的金属导电层和层叠于所述金属导电层上的氧化铝钝化层，所述氧化铝钝化层上具有多个纳米尺寸的孔洞。

10.根据权利要求9所述的太阳电池器件，其特征在于，所述光吸收层为铜铟镓硒薄膜光吸收层、铜锌锡硫薄膜光吸收层、铜锌锡硒薄膜光吸收层或碲化镉薄膜光吸收层。