[发明专利]MEMS元件以及振荡器

权利要求书

1.一种MEMS元件，其包含：

基板；

第1电极，其形成在所述基板的上方；以及

第2电极，其具有支承部和梁部，该支承部形成在所述基板的上方，该梁部从所述支承部延伸，以与所述第1电极之间具有空隙的状态形成，能够在所述基板的厚度方向上进行振动，

所述梁部的宽度随着从所述梁部的根部朝所述梁部的前端而变小，

所述梁部的中心的长度大于所述梁部的端部的长度，

所述梁部的根部的宽度大于所述梁部的中心的长度。

2.根据权利要求1所述的MEMS元件，其中，

所述梁部具备：

第1部分，其在俯视时是矩形的形状，具有所述梁部的中心的长度；

第2部分，其与所述第1部分邻接，具有所述梁部的端部的长度，

所述第2部分的长度随着远离所述第1部分而变小。

3.根据权利要求2所述的MEMS元件，其中，

所述第2部分在俯视时是梯形的形状。

4.根据权利要求1所述的MEMS元件，其中，

所述梁部在俯视时是圆弧或椭圆弧的形状。

5.一种振荡器，其包含：

权利要求1至4中的任意一项所述的MEMS元件；以及

电路部，其与所述MEMS元件的所述第1电极以及所述第2电极电连接。