[发明专利]表面处理方法

说明书

本申请是中国发明专利申请200680000873.6(PCT/JP2006/309918)、申请日2006年5月18日、发明名称为“表面处理方法”的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种表面处理方法，其用于清洁构成真空处理装置的金属制部件的表面。

背景技术

构成真空容器等真空处理装置的不锈钢部件，进行焊接、机械加工等，形成真空容器的形状后，为了除去在加工过程中附着的润滑剂或手的油脂成分等要进行表面处理。

近年来真空装置大型化，由于对构成大型化的真空装置的部件整体进行一次处理变得困难，本发明人在特愿2004-219001中提出了部分电解处理。

即使是这样的部分电解处理，为了除去用于处理的药液也需要用纯水等洗涤。在部分电解处理的过程中，在表面上称为污物的金属性的附着物（在不锈钢的场合，Cr、Ni、Fe等氧化物及盐不均匀地附着）尽管进行使用高压喷射的纯水洗涤，也难于除去，存在有上述金属性附着物在真空气氛下向空间放出，或之后在成膜时被荷电颗粒击打向空间放出，污染真空装置的可能性的问题。为了除去这些金属附着物，存在部分电解处理后必须使用操作时危险性高的硝酸进行洗涤的问题。

作为装置的表面处理方法，除了上述的部分电解处理外，有以往一直进行的电解抛光、化学抛光等，这些方法的任何一种在处理后都在金属表面附着上述的污物。如果让污物就这样附着下去，和部分电解处理时同样，存在有向空间放出，污染真空装置的可能性的问题。再有，为了除去这些金属附着物，存在部分电解处理后必须使用操作时危险性高的硝酸进行洗涤的问题。

发明内容

因此，本发明以解决上述以往的问题，不使用危险性高的硝酸等，而且不进行浸渍处理，除去构成真空容器等真空处理装置的部件表面附着的药液和金属等附着物为目的。

为了解决上述课题，本发明人等专心研究的结果，基于通过使用碱系螯合物溶液代替硝酸，可以解决上述课题这样从观察中得到的知识，发现了如下所述的解决手段。

即，本发明的表面处理方法，如1所记载的那样，是以构成真空处理装置的金属部件作为被处理物的表面处理方法，其特征在于，对上述被处理物的表面进行电解抛光、部分电解处理、化学抛光、酸洗或电解酸洗后，利用在大于等于0.5重量%、小于3重量%的稀碱液中，添加羧酸或羧酸盐以使浓度达到大于等于0.5重量%、小于10重量%而得到的碱系螯合物溶液对上述被处理物的表面进行洗涤。

另外，2中所记载的表面处理方法，其特征在于，在1中所记载的表面处理方法中，上述碱系螯合物溶液的温度为10-80℃。

根据本发明的表面处理方法，可以用比较简单的构成对被处理物的表面进行洗涤。再有，不使用硝酸也可以除去被处理物表面的金属等附着物，所以危险性小。进一步，如果利用根据本发明进行表面处理的部件构成真空处理装置，在真空气氛下，可以使放出的气体减少。

附图说明

[图1]显示实施例3的每单位面积的气体放出速度的变化的图

符号说明

1  用螯合物溶液进行处理的试样的每单位面积的气体放出速度

2  没有用螯合物溶液进行处理的试样的每单位面积的气体放出速度

具体实施方式

本发明是将构成真空处理装置的金属制部件作为被处理物的表面处理方法，其特征为，对上述被处理物的表面进行电解抛光、部分电解处理、化学抛光、酸洗或电解酸洗后，在大于等于0.5重量%、小于3重量%的稀碱液中，添加羧酸或羧酸盐使浓度为大于等于0.5重量%、小于10重量%，利用这样得到的碱系螯合物溶液洗涤上述被处理物的表面。

上述构成真空处理装置的金属制部件只要是处于真空处理环境下的部件没有特别的限定。如果举一例，可举出金属制容器等。另外，作为上述金属，可举出不锈钢、铝合金、钛合金等。

作为上述处理介质，只要是在上述电极间能有电流流过，在材料和形状上没有限定，例如，可使用无纺布。

上述电解抛光、化学抛光、酸洗或电解酸洗是公知的，再有，所谓部分电解处理，是指在将被处理物连接到电源的阳极一侧的同时，在阴极一侧连接使被处理物的表面接触电解液的处理介质，利用在电极间通过电解液流过直流电流，对被处理物的表面电解抛光，更优选通过这样的处理使被处理物的表面光洁度（R_max）达到0.1μm。具体的例子记载在特愿2004-219001中。