[发明专利]电容式加速度计有效
| 申请号： | 201310426346.3 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104459199B | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 裘进 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 201815 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 加速度计 | ||
1.一种电容式加速度计，包括基板、检测质量块及至少两个支撑基座，所述支撑基座固定在所述基板上，所述检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在所述支撑基座的表面，在所述基板上相对设置有至少两个电极，所述电极分别对应于所述检测质量块质量较大的一侧和质量较小的一侧，用于与所述检测质量块形成电容，其特征在于，所述支撑基座具有一支撑中心，所述电极具有一电极中心，所述支撑中心与所述电极中心重合，且所述支撑基座到所述支撑中心的平均距离与所述电极到所述电极中心的平均距离相等或近似相等，所述支撑中心为支撑基座中心对称的中心，所述电极中心为电极中心对称的中心。
2.根据权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，所述电容式加速度计进一步包括至少一个第一梳齿状电容组，所述第一梳齿状电容组包括固定设置在所述基板上的第一感测电容板，设置在所述检测质量块上与所述第一感测电容板相应位置的第二感测电容板，当所述电容式加速度计存在一与基板表面平行的第一方向的加速度时，所述第一梳齿状电容组的电容发生变化。
3.根据权利要求2所述的电容式加速度计，其特征在于，所述电容式加速度计进一步包括至少一个第二梳齿状电容组，所述第二梳齿状电容组包括固定设置在所述基板上的第一感测电容板，设置在所述检测质量块上与所述第一感测电容板相应位置的第二感测电容板，当所述电容式加速度计存在一与基板表面平行的第二方向的加速度时，所述第二梳齿状电容组的电容发生变化，所述第一方向与所述第二方向垂直。
4.根据权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，所述基板及支撑基座的材料为绝缘材料。
5.根据权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，所述检测质量块的材料为半导体或导体。
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