[发明专利]加速度计

权利要求书

1.一种加速度计，包括基板、检测质量块及支撑基座，所述支撑基座固定在所述基板上，所述检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在所述支撑基座的表面，当所述加速度计存在一与基板表面垂直方向的加速度时，所述检测质量块以弹片所在直线为轴转动，其特征在于，所述基板包括凹腔及第一限位块，所述凹腔设置于所述检测质量块质量较大的一侧，用于防止所述检测质量块在转动过程中触碰所述基板，所述第一限位块位于所述支撑基座与所述凹腔之间，用于限制所述检测质量块可以转至的最大位置，还包括至少两个电极，所述两个电极相对设置在基板上并分别对应于所述检测质量块质量较大的一侧和质量较小的一侧，用于与所述检测质量块形成电容。

2.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述加速度计进一步包括一绝缘层，所述绝缘层填充满所述凹腔。

3.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述加速度计进一步包括至少一个第一梳齿状电容组，所述第一梳齿状电容组包括固定设置在所述基板上的第一感测电容板，设置在所述检测质量块上与所述第一感测电容板相应位置的第二感测电容板，当所述加速度计存在一与基板表面平行的第一方向的加速度时，所述第一梳齿状电容组的电容发生变化。

4.根据权利要求3所述的加速度计，其特征在于，所述第一梳齿状电容组还包括设置在支撑基座上与所述第一感测电容板相应位置的第三感测电容板。

5.根据权利要求3或4所述的加速度计，其特征在于，所 述加速度计包括两个第一梳齿状电容组，所述第一梳齿状电容组沿与基板表面平行的第一方向两两相对设置。

6.根据权利要求3所述的加速度计，其特征在于，所述加速度计进一步包括至少一个第二梳齿状电容组，所述第二梳齿状电容组包括固定设置在所述基板上的第一感测电容板，设置在所述检测质量块上与所述第一感测电容板相应位置的第二感测电容板，当所述加速度计存在一与基板表面平行的第二方向的加速度时，所述第二梳齿状电容组的电容发生变化，所述第一方向与所述第二方向垂直。

7.根据权利要求6所述的加速度计，其特征在于，所示加速度计包括两个第二梳齿状电容组，所述第二梳齿状电容组沿与基板表面平行的第二方向两两相对设置。

8.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述基板还包括第二限位块，所述第二限位块对应于所述检测质量块质量较小的一侧设置，用于限制所述检测质量块可以转至的最大位置。

9.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述支撑基座采用多点固定的方式固定在所述基板上。