[发明专利]一种可水平往复运动沉积器

权利要求书

1.一种可水平往复运动沉积器，包括沉积盘（1）、往复轴（2）、旋转轴（3）、导向轴（5）、传动轴（7）、连接板（8）、轨道轮（11）；其特征在于：沉积器最下端加装轨道轮（11），配合安装于地面上的轨道，可使沉积器进行水平方向往复运动。

2.根据权利要求1所述的往复轴（2），其特征在于，尾端固定于连接板（8）上，传动轴（7）的旋转带动连接板（8）与往复轴（2）在垂直方向可上下运动。

3.根据权利要求1所述的旋转轴（3），其特征在于，驱动装置为第一伺服电机（15），第一伺服电机配（15）有第一减速机（14），可根据第一伺服电机（15）和第一减速机（14）来调节旋转轴（3）和沉积盘（1）的转向和转速。

4.根据权利要求2所述的传动轴（7），其特征在于，驱动装置为第二伺服电机（13），第二伺服电机（13）配有第二减速机（12），可根据第二伺服电机（13）和第二减速机（12）来调节传动轴（7）的转向和转速，进而调节往复轴（2）的运动方向与速度。

5.根据权利要求2所述的连接板（8），其特征在于，导向轴（5）配合穿过连接板（8），在传动轴（7）旋转带动连接板（8）运动过程中，导向轴（5）保持连接板（8）不倾斜，保证连接板（8）以及往复轴（2）和沉积盘（1）的平稳运动。