[发明专利]一种用于真空镀膜机的支架有效
申请号: | 201310430024.6 | 申请日: | 2013-09-22 |
公开(公告)号: | CN103451613A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 王朝阳;宫睿 | 申请(专利权)人: | 无锡启晖光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 徐冬涛 |
地址: | 214174 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 支架 | ||
1.一种用于真空镀膜机的支架,包括支架框(1)和支架横杆(2),其特征在于所述的支架框(1)呈倒“V”形设置,支架横杆(2)的两端固定设置在支架框(1)的侧臂上,且支架框(1)从上至下设有二~四层支架横杆(2)。
2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的支架,其特征在于所述的支架横杆(2)呈水平状态设置在支架框(1)的侧臂上。
3.根据权利要求1或2所述的用于真空镀膜机的支架,其特征在于所述支架框(1)侧臂上的同一水平面处设有二~四根支架横杆(2)。
4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜机的支架,其特征在于:同一水平面处的支架横杆(2)的数量从上至下逐渐增大。
5.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的支架,其特征在于所述支架框(1)的顶部设有用于固定支架在腔室上壁(4)上的固定件(3)。
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