[发明专利]一种用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置

权利要求书

1.一种用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置，其特征在于，包括六氟化硫分离装置、毛细柱进样装置（4）、Gaspro色谱柱（8）、微板流路控制阀（5）和第二硫化物检测器（9），

其中，所述毛细柱进样装置（4）包括互相连通的第一入口（41）、第二入口（42）和第一出口（43），所述第二入口（42）与所述六氟化硫分离装置连通，所述第一入口（41）用于通入辅助气，

所述微板流路控制阀（5）包括第三入口（51）、第二出口（52）和第三出口（53），

所述Gaspro色谱柱（8）分别与所述第一出口（43）和所述第三入口（51）连通，

所述第二硫化物检测器（9）与所述第二出口（52）连通。

2.根据权利要求1所述的用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置，其特征在于，所述辅助气为氦气。

3.根据权利要求1所述的用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置，其特征在于，所述六氟化硫分离装置包括六通阀（1）、第一色谱柱（6）和热导池检测器（7），

其中，所述六通阀（1）包括依次排列的第一一号接口（11）、第一二号接口（12）、第一三号接口（13）、第一四号接口（14）、第一五号接口（15）和第一六号接口（16），所述六通阀（1）上还设置有定量环（17），所述定量环（17）分别与所述第一六号接口（16）和所述第一三号接口（13）连通，

所述第一色谱柱（6）分别与所述第一四号接口（14）和所述热导池检测器（7）连通。

4.根据权利要求3所述的用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置，其特征在于，所述六氟化硫分离装置还包括第一四通阀（2）、第二四通阀（3）和第一硫化物检测器（10），

其中，所述第一四通阀（2）包括第二一号接口（21）、第二二号接口（22）、第二三号接口（23）和第二四号接口（24），

所述第二四通阀（3）包括第三一号接口（31）、第三二号接口（32）、第三三号接口（33）和第三四号接口（34），所述第二一号接口（21）与所述第三四号（34）接口连通，

所述第一硫化物检测器（10）与所述第三三号（33）接口连通，

所述热导池检测器（7）与所述第二四号接口（24）连通，所述第二入口（42）与所述第二三号接口（23）连通。

5.根据权利要求3所述的用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置，其特征在于，所述第一色谱柱（6）为Porapak QS色谱柱。