[发明专利]一种气体分析装置及方法

权利要求书

1.一种气体分析装置，用于对待测腔室内的气体进行分析，其特征在于，包括：

取样室，与所述待测腔室通过第一阀门相连，用于引入所述待测腔室的样品气体；

分析室，与所述取样室通过第二阀门相连，所述分析室上设有真空规管，用于监测所述分析室的真空度；

气体分析器，设于所述分析室内，用于对所述待分析气体进行分析测试；

标定模块，用于向所述气体分析器提供标准气体，对所述气体分析装置进行定量标定。

2.如权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述标定模块包括：

第一标准气体室，用于为所述气体分析装置提供高纯度的标准气体，所述标准气体为具有确定浓度的多种气体混合物或单一气体；

第一标准气体管路，用于连接所述第一标准气体室与所述取样室；

第一气体压力传感器，用于准确监测所述取样室的压力；

其中，所述第一标准气体管路上在所述第一标准气体室至所述取样室之间依次设有第一减压调节机构和第一截止阀；所述第一减压调节机构用于将从所述第一标准气体室引出的高压的标准气体降到适当压力并控制所述标准气体的进气流量；所述第一截止阀用于隔断所述取样室和所述第一标准气体室及所述第一标准气体管路。

3.如权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述标定模块包括：

第二标准气体室，用于为所述气体分析装置提供高纯度的标准气体，所述标准气体为具有确定浓度的多种气体混合物或单一气体；

第二标准气体管路，用于连接所述第二标准气体室与所述分析室；

标准体积室，一端通过所述第二标准气体管路与所述第二标准气体室相连，一端通过所述第二标准气体管路与所述分析室相连；

第二气体压力传感器，用于准确监测所述标准体积室的压力；

其中，所述第二标准气体管路上在所述第二标准气体室至所述标准体积室之间依次设有第二减压调节机构和第二截止阀；所述第二减压调节机构用于将从所述第二标准气体室引出的高压的标准气体降到适当压力并控制所述标准气体的进气流量；所述第二截止阀用于隔断所述标准体积室和所述第二标准气体室及所述第二标准气体管路；所述第二标准气体管路上设有第三截止阀，用于隔断所述分析室和所述标准体积室及所述第二标准气体管路。

4.如权利要求3所述的气体分析装置，其特征在于，所述标准体积室的有效容积远小于所述分析室的有效容积，且所述标准体积室的有效容积与所述分析室的有效容积有确定比例关系；当打开所述标准体积室和所述分析室之间的所述第三截止阀后，所述分析室内的压力满足所述气体分析器的工作压力要求。

5.如权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，还包括泵组，所述泵组通过第一抽气阀门和第二抽气阀门分别与所述分析室和所述取样室连接，用于抽除所述分析室和所述取样室内的气体，获得满足所述气体分析器工作的压力环境，形成气体在所述气体分析装置内的持续定向流动。

6.如权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，还包括吹扫放气模块，所述吹扫放气模块分别与所述分析室和所述取样室连接，用于对所述分析室和所述取样室内吸附的样品气体进行吹扫清洁或在所述气体分析装置维护时充入保护气体。

7.如权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，还包括加热器，所述加热器设置在所述取样室和所述分析室上，用于对所述取样室和所述分析室进行烘烤除气处理。

8.如权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述第二阀门包括两个阀板，其中一个阀板的中心设有一圆孔，通过所述圆孔控制所述分析室的进气流量，使所述标准气体和所述样品气体以分子流状态进入所述分析室；另一个阀板为完整的阀板，用于隔断所述分析室和所述取样室。

9.一种气体分析方法，其特征在于，包括如下步骤：

将标定模块提供的标准气体引入分析室；

开启所述分析室内的气体分析器，进行标定，即建立所述标准气体各组分的输出电流值与所述标准气体各组分分压的对应关系；

标定结束后，关闭所述气体分析器，抽除取样室和所述分析室内的标准气体；

再开启所述气体分析器测试本底数据，然后进行样品气体测试。