[发明专利]多层结构硬质、耐磨、润滑涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种多层结构硬质、耐磨、润滑涂层，其特征在于所述涂层包括交替的Mo-Al-Si-N和Mo-Ag-N薄膜层，所述涂层具有至少两个Mo-Al-Si-N/Mo-Ag-N多层的重复结构，且所述Mo-Al-Si-N/Mo-Ag-N单层膜的厚度为纳米尺度。

2.根据权利要求1所述的多层结构硬质、耐磨、润滑涂层，其特征在于所述涂层具有至少三个Mo-Al-Si-N/Mo-Ag-N多层的重复结构。

3.根据权利要求2所述的多层结构硬质、耐磨、润滑涂层，其特征在于所述涂层具有至少四个Mo-Al-Si-N/Mo-Ag-N多层的重复结构。

4.权利要求1-3任一项所述的多层结构硬质、耐磨、润滑涂层的制备方法，包括采用磁控溅射的方法在基片上交替沉积Mo-Al-Si-N和Mo-Ag-N薄膜层的步骤。

5.根据权利要求4所述的多层结构硬质、耐磨、润滑涂层的制备方法，其特征在于所述交替沉积Mo-Al-Si-N和Mo-Ag-N薄膜层的步骤包括：

1)将不锈钢片经抛光、清洗、吹干后得到薄膜基片；

2)将Mo-Ag和Mo-Al-Si复合靶分别安装在直流阴极上，不锈钢基片装入样品台，调整靶材和基片的距离为55mm；

3)开机，抽真空至1x10^-3pa，加热基片至400℃，然后通入氩氮混合气，调整Ar/N₂流量比至3∶1，调整工作气压至1.0Pa；

4)打开磁控溅射电源，调整溅射功率为分别为90W和120W，双靶溅射同时开始，调整衬底的转速，控制总的溅射时间为90min；

5)溅射完成，关闭溅射、加热电源，停止通气，试样在分子泵抽真空的条件下降温至90℃以下，关分子泵，关电源；自然真空下冷却到室温，然后取出样品。

6.根据权利要求5所述的多层结构硬质、耐磨、润滑涂层的制备方法，其特征在于所述交替沉积Mo-Al-Si-N和Mo-Ag-N薄膜层的步骤重复至少两次。

7.权利要求1-3任一项所述的多层结构硬质、耐磨、润滑涂层，适用于高速干式切削工具和耐磨工件上镀制的优质超硬薄膜。