[发明专利]一种便携式真空检漏仪在审

专利信息
申请号: 201310432341.1 申请日: 2013-09-23
公开(公告)号: CN104374528A 公开(公告)日: 2015-02-25
发明(设计)人: 杨俊峰;蒋燕;杨瑞芳;程帜军;王先平;方前锋 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 23003*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 便携式 真空 检漏
【说明书】:

技术领域

发明设计一种真空检漏仪,尤其是用于大型真空仪器安装过程中真空部件实时检漏的检漏仪,属于真空技术领域范畴。 

背景技术

“真空”是指在指定空间内低于环境大气压力的气体状态,也就是该空间内气体分子数密度低于该地区大气压的气体分子数密度。不同的真空状态,就意味着该空间具有不同的分子数密度。随着现代科学技术的高度发展,在工业、农业、教学及科研等各个领域中所使用的和真空有关的仪器越来越多,特别是和表面工程相关的科研单位以及从事表面处理的相关企业中,真空应用的实例更是不胜枚举。像用作镀膜的PVD(物理气相沉积)、CVD(化学气相沉积)设备,用作表面改性的粒子注入设备,用作材料热处理的真空炉等等。 

凡是和真空有关的设备都存在一个密封的问题,实际上绝对“不漏”是不可能的,我们平时所讲的“不漏”或“无泄漏”只不过是指实际泄漏量很微小,不影响使用时的真空要求。实际应用中对于一些密封部件,特别是那些经常拆卸的,以及使用过程中受热温度比较高的密封部件往往会出现密封失效,导致真空系统漏气。因此当真空系统出现问题时,如何高效、快速检漏就显的至关重要。真空检漏已经成为真空领域不可缺少的一个分支。经过几十年的积累,人们已经总结出了一系列行之有效的方法,一些检漏仪器也相继面市。检漏仪根据其检测原理的不同,可以分为气压检漏仪、卤素检漏仪、氨检漏仪、氦质谱检漏仪等。尽管这些检漏原理各不相同,但是它们有一个共同点,即被检件必须是一个可封闭容器。 

一般步骤是先通过真空管道把被检件和检漏仪连接起来,构成一个整体,然后根据检漏仪的原理,用示漏物质作用于被检件,通过检漏仪上的信号变化判断“漏点”。对于那些本身不是可封闭容器的密封件,这些方法就显的无能为力。此外,对于大型真空仪器,特别是密封圈需要从仪器内部放入的密封件,由于不能在安装每个密封件时进行实时检漏,只能当整个仪器装配完成后才能进行检漏。一旦装配完成后,发现仪器有露点,需要打开真空仪器才能重新安装密封件,这无疑导致人力、物力的极大浪费。实践表明,很大一部分真空密封元件,当粗抽时不泄漏(像铝,铜等密封圈),在高真空时 只需要紧固密封件就可以解决其高真空泄漏的问题。因此,有必要开发一种能够在仪器装配过程中实时进行粗抽检漏的便捷仪器。 

发明内容

本发明要解决的技术问题为弥补现有检漏技术中的一些不足之处,提供一种适合于大型真空仪器安装及调试过程中,对真空部件局部进行实时检漏的装置。 

一种便携式真空检漏仪,包括抽气筒和腔体,所述的抽气筒和腔体之间通过过渡管密封连接;所述的抽气筒上端设有手柄孔,连接在抽杆上端的抽气手柄伸出手柄孔;抽杆下端设有凸出体,所述凸出体远离手柄端设有螺纹,使得抽杆与螺母配合连接,所述的螺母与活塞连接;活塞上设有密封圈,使得活塞与抽气筒内壁形成密封空间;活塞上端与抽气筒上端内壁之间还连接有一根弹簧,使得活塞具有自动复位功能,抽杆、螺母均穿过弹簧;抽气筒底部有有阀口,阀口上设有出气阀。 

所述的出气阀顶端及中部镂空,底端密封,外壁设有出气口与镂空的中部连通。所述的出气阀顶端及中部镂空,底端密封,外壁设有出气口与镂空的中部连通;所述的出气氛阀外部套有橡胶圈。 

所述的腔体上端表面中部凹陷,凹陷处中部设有阀口,轻质阀安装在该阀口上,所述腔体外部设有过渡法兰,用来连接酒精探测仪。所述的轻质阀与阀口之间有密封圈I。 

进一步,所述的抽筒上端面设有把手。 

进一步,所述的腔体底部设有真空吸盘,用来连接被测物体。 

本发明有益效果: 

1、本发明可对本身不是封闭容器的密封件进行检测,无需另放入密封件,省时省力。 

2、在仪器设备装配过程,本发明即可进行粗抽检漏,避免在装配后因密封问题而重新进行装配。 

3、体积小巧,携带方便;结构简单,操作简便;只需将本发明吸附在检测面上,在另一面释放酒精,即可检测漏点。 

附图说明

图1为本发明的外部立体示意图。 

图2为本发明抽气筒的横截面示意图。 

图3为本发明腔体的横截面示意图。 

图4为本发明出气阀的外部示意图。 

图5为图4中A-A横界面图。 

具体实施方式

下面结合附图,对本发明做进一步说明。 

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