[发明专利]感光性树脂组成物、保护膜及具有保护膜的元件

权利要求书

1.一种感光性树脂组成物，其特征在于包含：

碱可溶性树脂(A)；

邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；

含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)；及

溶剂(D)；

其中，所述含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩合产物，所述硅烷材料包括具有式(I)结构的含硫醇基的硅烷；

R^aSi(OR^b)³   (I)

式(I)中，R^a表示含硫醇基且不具有芳香环的C₁至C₈的有机基团，或含硫醇基且具有芳香环的有机基团；R^b表示氢、C₁至C₆的烷基、C₁至C₆的酰基，或C₆至C₁₅的芳香基，多个R^b各自为相同或不同。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于，所述碱可溶性树脂(A)由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和化合物(a2)，及其他不饱和化合物(a3)共聚合而得。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于，基于碱可溶性树脂(A)的总量为100重量份，邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的使用量为10至50重量份；含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)的使用量为0.5至20重量份；溶剂(D)的使用量为100至800重量份。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于，所述硅烷材料还包括交联性化合物，所述交联性化合物是至少一种选自由下列所构成的组的化合物：单烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷、三烷氧基硅烷、四烷氧基硅烷、四烷氧基钛，及四烷氧基锆。

5.一种保护膜，其特征在于，是将根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组成物涂布于基材上，再经预烤、曝光、显影及后烤处理后所形成的。

6.一种具有保护膜的元件，其特征在于，其包含基材以及根据权利要求5所述的保护膜。