[发明专利]位置测量仪和用于其运行的方法在审
申请号: | 201310433843.6 | 申请日: | 2013-09-23 |
公开(公告)号: | CN103673943A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | J.奥伯豪泽;B.施米德;J.J.罗森勒纳-埃姆德;W.施瓦格;T.施维策尔;H.迈耶;M.O.蒂曼 | 申请(专利权)人: | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01D5/12 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 陈浩然;谭祐祥 |
地址: | 德国特劳*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 位置 测量仪 用于 运行 方法 | ||
1. 一种位置测量仪,其带有:
编码载体(1.2),其带有至少一个第一分度轨道(1.21)和第二分度轨道(1.22),其中,所述第二分度轨道(1.22)是增量分度轨道,
第一探测器组件(2.22),其用于通过在测量方向上探测所述第一分度轨道(1.21)和所述第二分度轨道(1.22)产生第一位置信号(Z1_1,Z3_1,Z16_1),
第二探测器组件(2.23),其用于通过在测量方向上探测所述第二分度轨道(1.22)产生第二位置信号(Z16_2),
第一位置处理单元(3.1,4.1),其用于将所述第一位置信号(Z1_1,Z3_1,Z16_1)处理成第一绝对位置值(POS1),以及
第二位置处理单元(3.2,4.2),其用于将所述第二位置信号(Z16_2)处理成第二绝对位置值(POS2),
其中,所述第二位置处理单元(3.2,4.2)能够利用绝对的辅助位置值(HPOS)初始化,所述辅助位置值由所述第一位置处理单元(3.1,4.1)输送给所述第二位置处理单元(3.2,4.2)。
2. 根据权利要求1所述的位置测量仪,其中,所述第二位置处理单元(3.2,4.2)包括:
精细位置评估单元(3.22),其用于将所述第二位置信号(Z16_2)处理成精细位置值(FPOS),
计数器单元(3.21),所述精细位置值(FPOS)输送给其且利用其通过所述精细位置值(FPOS)的变化的计数能够产生粗略位置值(GPOS),以及
位置值形成单元(3.23),利用其能够将所述粗略位置值(GPOS)和所述精细位置值(FPOS)处理成所述第二绝对位置值(POS2),
并且所述计数器单元(3.21)能够利用绝对的所述辅助位置值(HPOS)初始化。
3. 根据权利要求1所述的位置测量仪,其中,所述第二位置处理单元(3.2,4.2)包括:
精细位置评估单元(3.22),其用于将所述第二位置信号(Z16_2)处理成精细位置值(FPOS),
存储器单元(4.21),所述第二绝对位置值(POS2)输送给其且所述第二绝对位置值(POS2)能够作为粗略位置值(GPOS)存储在其中,以及
位置值形成单元(4.23),利用其能够将所述粗略位置值(GPOS)和所述精细位置值(FPOS)处理成所述第二绝对位置值(POS2),
并且绝对的所述辅助位置值(HPOS)能够作为粗略位置值(GPOS)存储在所述存储器单元(4.21)中。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的位置测量仪,其中,所述第一分度轨道(1.21)是绝对分度轨道且所述第一位置处理单元(3.1)包括粗略位置评估单元(3.11),其从由所述第一分度轨道(1.21)的探测得出的位置信号(Z1_1)产生绝对的粗略位置值(GPOS),其作为辅助位置值(HPOS)输送给所述第二位置处理单元(3.2,4.2)。
5. 根据权利要求1至3中任一项所述的位置测量仪,其中,所述第一分度轨道(1.21)是第一增量分度轨道且所述第二分度轨道(1.22)是第二增量分度轨道,所述分度轨道(1.21,1.22)具有不同数量的分度周期且所述第一位置处理单元(4.1)从由所述第一分度轨道(1.21)和所述第二分度轨道(1.22)的探测得出的位置信号(Z3_1,Z16_1)产生所述第一绝对位置值(POS1),其中的至少一定数目的高值的位作为辅助位置值(HPOS)输送给所述第二位置处理单元(3.2,4.2)。
6. 根据前述权利要求中任一项所述的位置测量仪,其中,设置有开关器件(3.3,3.6),利用其能够将所述辅助位置值(HPOS)输送给所述第二位置处理单元(3.2,4.2)。
7. 根据前述权利要求中任一项所述的位置测量仪,其中,所述第二探测器组件(2.23)包括用于探测所述第一分度轨道(1.21)的第一位置探测器(2.231)和用于探测所述第二分度轨道(1.22)的第二位置探测器(2.232)且设置有开关器件(3.4,3.5),利用其能够将由所述第一分度轨道(1.21)的探测得出的位置信号(Z1_2,Z3_2)输送给所述第一位置处理单元(3.1,4.1)以形成所述辅助位置值(HPOS)。
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