[发明专利]真空镀膜室防镀膜观察窗

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜室的观察窗，尤其是涉及一种真空镀膜室防镀膜观察窗。

背景技术

现有技术中的真空镀膜室的观察窗，结构主要包括与真空镀膜室相连通的观察窗小脖，观察窗小脖装有法兰，法兰具有左、右两个法兰盘，左、右两个法兰盘的内侧壁形成有腔室，腔室内装有挡板，法兰的下部装有圆形石英玻璃观察窗，上述结构的真空镀膜室的观察窗，在观察镀膜室内部工况时需要先把挡板打开，观察完后再把挡板关上，在把挡板打开观察镀膜室内部工况时膜会镀到观察窗的石英玻璃上，镀几炉镀就需要更换观察窗的石英玻璃，这样不仅浪费了石英玻璃，也增加了工人的劳动强度、降低了生产效率。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种在观察镀膜室内部工况时膜不会镀到观察窗石英玻璃上的真空镀膜室防镀膜观察窗。

为解决上述技术问题，本发明真空镀膜室防镀膜观察窗，包括与真空镀膜室相连通的观察窗小脖，观察窗小脖装有法兰，法兰具有左、右两个法兰盘，左、右两个法兰盘的内侧壁形成有腔室，腔室内装有挡板，法兰的下部装有圆形石英玻璃观察窗，所述挡板为圆形薄板，相应地所述腔室为圆形腔室，所述挡板沿径向开有两条对称条形狭缝，挡板的中心位置装有转轴，转轴连有驱动电机，所述狭缝的长度与所述石英玻璃观察窗的径向尺寸相当，当所述挡板旋转至某一角度时，所述狭缝刚好位于石英玻璃观察窗内。

采用上述结构的真空镀膜室防镀膜观察窗，在观察镀膜室内部工况时，由于挡板只在沿径向开有两条对称条形狭缝，当电机带动挡板高速旋转时，挡板会把膜挡在镀膜室内，石英玻璃不会被镀上膜，又因为人的肉眼分辨率低，从而可以通过观察窗的石英玻璃看到镀膜室内部的底膜情况，因此本发明在观察镀膜室内部工况时无需因为石英玻璃被镀上膜而更换观察窗的石英玻璃，节省了石英玻璃，也减轻了工人的劳动强度、提高了生产效率。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步地详细说明。

图1是本发明真空镀膜室防镀膜观察窗的剖视结构示意图。

图2是本发明真空镀膜室防镀膜观察窗的挡板的主视结构示意图。

图3是图2的侧视结构示意图。

具体实施方式

 参见图1－图3，本发明真空镀膜室防镀膜观察窗，包括与真空镀膜室相连通的观察窗小脖1，观察窗小脖1装有法兰2，法兰2具有左、右两个法兰盘3、4，左、右两个法兰盘3、4的内侧壁形成有腔室5，腔室5内装有挡板6，法兰2的下部装有圆形石英玻璃观察窗7，所述挡板6为圆形薄板，相应地所述腔室5为圆形腔室，所述挡板6沿径向开有两条对称条形狭缝8，挡板6的中心位置装有转轴9，转轴9连有驱动电机10，所述狭缝8的长度与所述石英玻璃观察窗7的径向尺寸相当，当所述挡板6旋转至某一角度时，所述狭缝刚好位于石英玻璃观察窗7内。