[发明专利]极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法

权利要求书

1.一种极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，其特征在于：所述方法包括下述步骤：

第一步：装卡收集镜筒坯（1）；首先装卡好经粗车加工后的收集镜筒坯（1），收集镜筒坯（1）的面型由双曲面和椭球面构成，校正收集镜筒坯（1），保证跳动值在0.1～0.5mm范围内；

第二步：精车加工中的粗车加工；利用精加工车床对收集镜筒坯（1）进行精车加工中的粗车加工，每次进刀0.04～0.06mm，加工次数为3～4次；

第三步：半精车加工；利用精加工车床（2）对第二步中的粗车加工后的收集镜筒坯（1）进行半精车加工，精加工车床主轴转速为480～520r/min，共进两刀，第一刀每次进刀7～9μm，进刀速度为18～22mm/min；第二刀每次进刀4～6μm，进刀速度为18～22mm/min；

第四步：精车加工；利用精加工车床（2）对经第三步完成的半精车加工的收集镜筒坯（1）进行精车加工，进刀1～3μm，进刀速度为1～3mm/min；

第五步：镀膜处理；对第四步精车加工后的收集镜筒坯（1）进行镀膜处理，镀膜厚度为50μm；

第六步：手工抛光处理；对经镀膜处理后的收集镜筒坯（1）面型手工抛光处理，使得收集镜筒坯（1）的面型符合收集镜面型，从而完成收集镜的制作。

2.根据权利要求1所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，其特征在于：第一步中的收集镜筒坯（1）的粗车加工是这样实现的：首先将铝合金坯料利用普通数控车床粗车成筒形工件，筒形工件的壁厚为6.5mm，再由普通数控车床按收集镜面型车削并留出精车所需余量，余量为0.5～1mm，之后经7-8次尺寸稳定化处理后制成收集镜筒坯（1）。

3.根据权利要求1所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，其特征在于：第四步中，在精车前，在经第三步完成的半精车加工的收集镜筒坯（1）的外表面套装尼龙套（3），并通过真空胶泥（4）将尼龙套（3）粘贴在所述收集镜筒坯（1）的外表面上。

4.根据权利要求1或2所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，其特征在于：步骤二至步骤四中的精加工车床（2）安装有两个并列设置的刀架（5），每个刀架（5）上安装有一把金刚石车刀（8），其中一把金刚石车刀（8）用于完成第二步中收集镜筒坯（1）精车加工中的粗车加工以及第三步中的半精车加工，余下一把金刚石车刀（8）用于完成第四步中的精车加工。

5.根据权利要求2所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，其特征在于：每一次尺寸稳定化处理的工艺步骤是先对收集镜筒坯（1）进行冷处理，冷处理结束后再进行热处理，冷、热处理交替进行；所述冷处理是：将第一步中粗车加工后的收集镜筒坯（1）放入冷却液内浸泡，冷却液温度低于5℃，浸泡时间为30～60min；所述热处理是：将冷处理后的收集镜筒坯（1）放入热处理液中浸泡，热处理液温度为90～100℃，浸泡时间为20～40min。

6.根据权利要求5所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，其特征在于：所述冷却液由水和乙醇组成，水和乙醇的体积比为1:1，所述热处理液为60摄氏度热水。