[发明专利]一种坩埚提升装置

权利要求书

1.一种坩埚提升装置，其特征在于：它包括储气罐（1），在所述储气罐（1）上设有主管道（2），在所述主管道（2）上设有手动真空角阀（3），在所述手动真空角阀（3）的一侧主管道（2）上设有真空计（4），另一侧主管道（2）上设有截止阀（5），在所述截止阀（5）的一侧主管道（2）上设有电子真空角阀（6）和旋片式真空泵（7），在所述电子真空角阀（6）和旋片式真空泵（7）之间通过支管（8）设有电磁透气阀（9），坩埚吸盘（10）通过吸盘管道（11）和所述手动真空角阀（3）相连。

2.根据权利要求1所述的坩埚提升装置，其特征在于：所述储气罐（1）共有两个。

3.根据权利要求1所述的坩埚提升装置，其特征在于：所述储气罐（1）设在轮式小车（12）上。

4.根据权利要求3所述的坩埚提升装置，其特征在于：在所述轮式小车（12）上设有配电箱（13）。

5.根据权利要求1所述的坩埚提升装置，其特征在于：在所述旋片式真空泵（7）上方设有油水分离器（14）。