[发明专利]多通道石英晶体微天平检测装置

权利要求书

1.多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：包括上针探头（16）、下针探头（18）、底座（1）、石英晶片（12）、硅胶垫片（8）和封盖（4），所述底座（1）上表面设有底座凹槽（2），在所述底座凹槽（2）内嵌置有石英晶片（12），所述石英晶片（12）下表面中部设有开口向下两个以上相互独立的石英晶片凹槽，在所述石英晶片（12）整个下表面镀有一层下电极，在所述每个石英晶片凹槽的背面对应位置均镀有一层上电极，所述硅胶垫片（8）设置在底座（1）的上面，在所述硅胶垫片（8）上与所述石英晶片凹槽对应位置开有上下贯通的中心长通孔（10），所述所有石英晶片凹槽均位于所述中心长通孔（10）横截面范围内，所述中心长通孔（10）横截面位于所述石英晶片（12）横截面范围内，所述封盖（4）位于所述硅胶垫片（8）上；

在所述封盖（4）上分别开设进样通道（5）和出样通道（6），与所述石英晶片（12）、中心长通孔（10）和封盖（4）的下表面构成连通池，所述上电极通过镀层引线引向石英晶片（12）边缘，所述上针探头（16）穿过封盖（4）和硅胶垫片（8）通过镀层引线与所述上电极连接，所述下针探头（18）穿过底座（1）与所述下电极连接。

2.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：所述上电极、下电极和镀层引线为铬和金镀层。

3.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：所述石英晶片（12）的厚度为16μm-30μm，石英晶片（12）的基本频率范围为30MHz-100MHz。

4.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：硅胶垫片（8）的厚度为100μm-1000μm。

5.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：所述上针探头（16）为上弹簧针探头，下针探头（18）为下弹簧针探头。

6.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：所述封盖（4）和底座（1）的制作材料为石英玻璃或者有机玻璃。

7.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：所述底座（4）、硅胶垫片（8）和封盖（4）通过一对螺丝杆连接。

8.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：所述中心通孔（10）的形状为足球场形。

9.根据权利要求1所述的多通道石英晶体微天平检测装置，其特征在于：所述石英晶片（12）的厚度大于底座凹槽（2）的深度，且石英晶片（12）的横截面比底座凹槽（2）的横截面小。