[发明专利]具有多次反射真空紫外光电离源的质谱分析仪

权利要求书

1.具有多次反射真空紫外光电离源的质谱分析仪，包括箱体，箱体内依次设有光电离腔体、差分腔体和质谱腔体，光电离腔体、差分腔体和质谱腔体上均分别开设有真空泵接口；所述光电离腔体内设有真空紫外光电离源，所述真空紫外光电离源包括真空紫外光源、推斥电极和聚焦电极，推斥电极的中部和聚焦电极的中部均开设有通孔，且同轴；光电离腔体的侧壁上设置有毛细管，毛细管的一端位于光电离腔体的外部，另一端位于推斥电极和聚焦电极之间；所述差分腔体内设有离子光学系统，所述质谱腔体内设有质量分析器；所述光电离腔体和差分腔体之间设有第一取样锥，所述差分腔体和质谱腔体之间设有第二取样锥；其特征在于：

推斥电极和聚焦电极相互对应的侧面均为喇叭状的圆锥面或圆弧面，推斥电极的通孔处为圆锥面或圆弧面的小直径端，聚焦电极的通孔处为圆锥面或圆弧面的小直径端；推斥电极的圆锥面或圆弧面上和聚焦电极的圆锥面或圆弧面上分别镀有反射层，使来自于真空紫外光源的出射光可在推斥电极和聚焦电极之间多次反射。

2.根据权利要求1所述的具有多次反射真空紫外光电离源的质谱分析仪，其特征在于：所述反射层材料为金或铝或铱。