[发明专利]一种多晶硅生产中氯化氢气体干燥方法及装置有效
| 申请号： | 201310443666.X | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103482573A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 胡光健;银波;黄彬;陈喜清 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/07 | 分类号： | C01B7/07;C01B7/03 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 830011 新疆维吾*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产 氯化氢 气体 干燥 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅生产中氯化氢气体干燥方法及装置，其特征为干燥方法如下：
（1）将氯硅烷通入加热器进行汽化；
（2）将氯硅烷蒸汽与氯化氢气体在混合器中充分混合；
（3）混合气体通入反应罐，通过水解反应干燥氯化氢气体，同时生成二氧化硅细粉；
（4）含有二氧化硅细粉的氯化氢气体送入除尘器，除去二氧化硅细粉，得到干燥的氯化氢气体。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中氯化氢气体干燥方法及装置，其特征为加热器为夹套加热器，气体混合器为文丘里混合器，反应罐为折流板反应罐，除尘器为袋式除尘器。
3.根据权利1或2所述的多晶硅生产中氯化氢气体干燥方法及装置，其特征为氯硅烷在夹套加热器中90℃进行汽化。
4.根据权利要求1或2所述的多晶硅生产中氯化氢气体干燥方法及装置，其特征为各装置的操作压力为0.1-0.3Mpa。
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