[发明专利]截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法

权利要求书

1.一种截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法，包括如下步骤：

步骤1：在截面为多边形的晶棒上，选取一个平行于晶棒轴向的柱面作为表面取向标识的第一特征；

步骤2：在具有第一特征的柱面上沿着晶棒轴向平行于棱边制做一个微型沟槽，作为表面取向标识的第二特征，将晶棒切片，制作成多边形衬底片；

步骤3：利用第一特征和第二特征的组合，对多边形衬底片的表面取向进行标识，完成对晶棒及衬底片表面取向的标识。

2.根据权利要求1所述的截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法，其中所述的多边形晶棒是蓝宝石、碳化硅、氮化镓、氮化铝、氧化镓、氧化锌、或硅单晶棒。

3.根据权利要求2所述的截面多为边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法，其中所述多边形晶棒的截面为方形或六边形。

4.根据权利要求1所述的截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法，其中作为第一特征的平行于晶棒轴向的柱面为任何一个柱面。

5.根据权利要求1所述的截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法，其中作为第二特征的微型沟槽的位置为不在具有第一特征柱面的对分中心线上的任意位置。

6.根据权利要求5所述的截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法，其中作为第二特征的微型沟槽的形状为V型或半圆型。