[发明专利]一种激光粉末加工旁轴送粉工作头有效
申请号: | 201310445040.2 | 申请日: | 2013-09-25 |
公开(公告)号: | CN103526199A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 林学春;牛奔;张志研;曲研;南景洋;周春阳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C23C24/10 | 分类号: | C23C24/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 粉末 加工 旁轴送粉 工作 | ||
1.一种激光粉末加工旁轴送粉工作头,其包括粉气分离部分和粉末汇聚再输送部分;
所述粉气分离部分包括:粉气分离器、粉气输入腔、快插接头;所述粉气分离器为中空形状,其与粉气输入腔同心连接,其一端设置有排气孔,用于将从快插接头输入的粉气混合体中的载气排出,粉末通过粉气输入腔进入粉末汇聚再输送部分;粉气输入腔为带直角切边的类圆柱形空心结构,快插接头位于其直角切边上,用于输入粉气混合体;
所述粉末汇聚再输送部分包括:粉末汇聚腔、第一粉末输送管、加工气输入腔、加工气汇聚件、加工气输入接头、粉末输送部分;其中:粉末汇聚腔一端与粉气输入腔相连,另一端与加工气输入腔的第一端和第一粉末输送管的第一端同轴心相连;第一粉末输送管和加工气汇聚件位加工气输入腔内部,加工气汇聚件为漏斗形结构,第一粉末输送管的第二端深入到所述加工气汇聚件漏斗形底部,与所述加工气汇聚件漏斗形底部的通粉孔保持一定距离,加工气输入接头固定在加工气输入腔的侧面,用于输入加工气;加工气输入腔第二端与粉末输送部分连接。
2.如权利要求1所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,所述排气孔由节流阀构成。
3.如权利要求2所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,所述粉末分离器由节流阀、密封端帽、不锈钢丝网以及螺纹压环组成;所述密封端帽为同心圆柱形凸台结构,节流阀通过其直径较大的圆柱顶端固定在密封端帽中心,且直径较小的底端通过螺纹压环固定有不锈钢丝网;粉气分离器通过密封端帽直径较大的顶端上的阶梯通孔与粉气输入腔连接,而直径较小的底端深入粉气输入腔内部。
4.如权利要求3所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,所述密封端帽直径较小的底端延伸至快插接头的输入口的下边线,快插接头输入口在粉气输入腔上部但其轴线不与粉气分离器的轴线相交而是存在一定距离。
5.如权利要求1所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,所述粉末输送部分包括第二送粉管、第三送粉管和送粉喷嘴,它们依次连接,且第二送粉管的一端与所述加工气输入腔第二端相连。
6.如权利要求1-5任一项所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,其还包括固定支架,其内部设置有阶梯孔,公装配好的送粉工作头穿过,外部设有螺纹孔,以将送粉工作头固定在其他设备上。
7.如权利要求1-5任一项所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,所述粉末汇聚腔内部设置有漏斗形结构,用于汇聚粉末,其外部为圆柱结构,漏斗直径较大的一端与粉气输入腔连接,直径较小的一端与加工气输入腔和第一粉末输送管同轴心连接。
8.如权利要求1-5任一项所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,所述加工气汇聚件漏斗形结构底部具有通粉孔,其漏斗形底部固定连接在加工气输入腔第二端内部。
9.如权利要求5所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,粉气输入腔、粉末汇聚腔、第一粉末输送管、加工气输入腔、加工气汇聚件、第二粉末输送管、第三粉末输送管及送粉喷嘴的安装轴线重合。
10.如权利要求3所述的激光粉末加工旁轴送粉工作头,其特征在于,所述不锈钢丝网目数根据需要进行选择。
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