[发明专利]一种新型交叉磁体驱动式工作台

说明书

技术领域

本发明涉及超精密工作台领域，具体涉及一种新型交叉磁体驱动式工作台。

背景技术

超精密工作台系统的定位精度和行程范围直接影响生产加工的精度。同时,工作台的速度、加速度及启停过程的稳定时间则影响设备的效率,这些成为系统的重要指标。一般的多运动方向工作台结构的比较复杂，精度保持性差，而本交叉磁体电机能轻松实现多方向定位，并且结构非常简单，精度保持性好。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种新型交叉磁体驱动式工作台。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种新型交叉磁体驱动式工作台，包括基板，在所述基板上分别排列安装两组纵向永磁体和一组横向永磁体，在所述永磁体组件上方设置有铁芯线圈组件，所述铁芯线圈组件固定安装在上方的线圈基板下表面上，所述线圈基板与上方的工作台固定在一起，在所述工作台的三个角下面分别安装竖直导轨，所述竖直导轨放置在所述基板上。

进一步的，所述铁芯线圈组件包括两组纵向铁芯线圈和一组横向铁芯线圈，所述纵向铁芯线圈设置在对应所述纵向永磁体上方，所述横向铁芯线圈设置在对应所述横向永磁体上方，所述竖直导轨在所述基板上可自由滑动。

本发明的有益效果是:

采用本发明技术方案，通过交叉磁体电机的驱动力能产生三个方向的运动，并且定位速度快，分辨率高，工作行程大。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图中标号说明：1、基板，2、永磁体组件，21、纵向永磁体，22、横向永磁体，3、铁芯线圈组件，31、纵向铁芯线圈，32、横向铁芯线圈,4、线圈基板，5、工作台，6、竖直导轨。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。

参照图1所示，一种新型交叉磁体驱动式工作台，包括基板1，其特征在于，在所述基板1上分别排列安装两组纵向永磁体21和一组横向永磁体22，在所述永磁体组件2上方设置有铁芯线圈组件3，所述铁芯线圈组件3固定安装在上方的线圈基板4下表面上，所述线圈基板4与上方的工作台5固定在一起，在所述工作台5的三个角下面分别安装竖直导轨6，所述竖直导轨6放置在所述基板1上。

进一步的，所述铁芯线圈组件3包括两组纵向铁芯线圈31和一组横向铁芯线圈32，所述纵向铁芯线圈31设置在对应所述纵向永磁体21上方，所述横向铁芯线圈32设置在对应所述横向永磁体22上方，所述竖直导轨6在所述基板1上可自由滑动。

本发明的原理：

本工作台由三个竖直导轨6在基板1上导向,通过交叉磁体合成三个方向的驱动力，驱动工作台5运动。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。