[发明专利]一种含三键双咪唑啉类化合物及含三键双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂及二氧化碳缓蚀剂的制备方法

权利要求书

1.一种含三键双咪唑啉类化合物，其特征在于，所述的含三键双咪唑啉类化合物具有如下结构通式：

式中的R为碳原子数量为4或8的直链烷基。

2.一种含三键双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂，其特征在于，包括以下组分：

含三键双咪唑啉化合物40－60重量％；

非离子表面活性剂3－5重量％；

低分子醇溶剂46－57重量％；

其中，含三键双咪唑啉化合物具有如下结构通式：

式中的R为碳原子数量为4或8的直链烷基。

3.根据权利要求2所述的含三键双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂，其特征在于，所述的非离子表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚；其中，所述的聚氧乙烯醚的OP值为10；所述低分子醇溶剂为甲醇、乙醇。

4.一种制备权利要求2所述的含三键双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：制备含三键双咪唑啉类化合物：

在反应器中按一定顺序加入摩尔比为1.0：1.5～2.5的二元有机羧酸和多胺，搅拌，在搅拌条件下升温至110-150℃开始回流，保持回流1.0～2.0h；再升温至140～180℃，回流3.0～6.0h进行酰胺化反应；继续升温至220～280℃回流3.0-10.0h进行环化反应，得到双咪唑啉中间体；将双咪唑啉中间体温度降至70-100℃，按照摩尔比双咪唑啉中间体：含三键的化合物＝1.0：1.5-2.5加入含三键化合物，再升温至100-150℃，继续反应3.0-6.0h，得到棕黄色均一粘稠液体，即为目标产物－含三键双咪唑啉化合物，备用；其中，所述二元有机羧酸为：己二酸或癸二酸；所述多胺为：二乙烯三胺；所述含三键化合物为丙炔氯；

步骤2：按照质量百分比分别称取含三键双咪唑啉化合物、非离子表面活性剂和低分子醇溶剂，将含三键双咪唑啉化合物与非离子表面活性剂、低分子醇溶剂互相混合，搅拌均匀，即得到含三键双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述的非离子表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚；其中，所述的聚氧乙烯醚的OP值为10；所述低分子醇溶剂为甲醇、乙醇。