[发明专利]一种长晶炉恒温冷却水系统

权利要求书

1.一种长晶炉恒温冷却水系统，其特征在于：它包括长晶炉（1），设在所述长晶炉（1）一侧的应急高位水箱（2），设在所述长晶炉（1）另一侧的内循环池（3）和外循环池（4），它们通过管道相连；在所述内循环池（3）侧面的内循环管道上设有内循环水泵（5）和闭式冷却塔（6），在所述内循环管道分设冷水管道，在所述冷水管道上设有内冷水机组（7）；在所述外循环池（4）侧面设有四根外循环管道，分别为第一外循环管道（8）、第二外循环管道（9）、第三外循环管道（10）和第四外循环管道（11），在第二外循环管道（9）上设有换热泵（12），在第四外循环管道（11）上设有外循环水泵（13），在所述外循环水泵（13）后面设有外冷水机组（14）；在所述内循环池（3）和外循环池（4）之间设有板式换热器（15）。

2.根据权利要求1所述的长晶炉恒温冷却水系统，其特征在于：所述长晶炉（1）至少为一台。

3.根据权利要求1所述的长晶炉恒温冷却水系统，其特征在于：在所述应急高位水箱（2）下方的管道上设有电动阀（16）。

4.根据权利要求1所述的长晶炉恒温冷却水系统，其特征在于：在所述内循环水泵（5）和闭式冷却塔（6）之间的内循环管道上设有内循环电加热器（17）。

5.根据权利要求1所述的长晶炉恒温冷却水系统，其特征在于：外循环水泵（13）和外冷水机组（14）之间的第四外循环管道（11）上设有外循环加热器（18）。

6.根据权利要求1所述的长晶炉恒温冷却水系统，其特征在于：在所述第二外循环管道（9）和板式换热器（15）之间的管道上设有电动阀（16）。