[发明专利]全息变间距光栅曝光光路的装调装置

权利要求书

1.全息变间距光栅曝光光路的装调装置，其特征是，包括检测光源与光栅基底夹持检测平台；

所述检测光源用于提供两支相干平行光；由激光器（1）、入射光纤准直镜（2）、Y型单模光纤（3）、第一出射光纤准直镜（4）和第二出射光纤准直镜（5）组成，激光器（1）产生的激光，通过入射光纤准直镜（2）会聚进入Y型单模光纤（3），激光从Y型单模光纤（3）出射后经第一出射光纤准直镜（4）与第二光纤准直镜（5）后成平行光；

所述基底夹持检测平台用于产生参考光，并记录待测光与参考光的干涉条纹，由底座（6）、角度盘（7）、定位槽（8）、微调滑块（9）、摆臂（11）、管夹（12）、扩束镜（13）、半透半反镜（14）和CCD相机（15）、立柱（16）、一维调整卡具（17）和自动定心镜架（18）组成；

角度盘（7）水平设置在底座（6）上，角度盘（7）的边缘设定位槽（8），角度盘（7）的圆心位置设置转轴；

定位槽（8）内设置微调滑块（9）；摆臂（11）可卡在微调滑块（9）上，微调滑块（9）可带动摆臂（11）沿定位槽的圆弧微小移动；

摆臂（11）呈“L”字型，一端设置CCD相机（15），另一端从外端至内依次设置管夹（12）、扩束镜（13）和半透半反镜（14）；第一出射光纤准直镜（4）可固定在在管夹（12）上，产生的平行光经扩束镜（13）后指向半透半反镜（14）中心，再经半透半反镜（14）反射后射向CCD相机（15）；

CCD相机（15）的物平面在角度盘（7）中轴上方；

立柱（16）固定在底座（6）之上，立柱（16）上设置一维调整卡具（17）；一维调整卡具（17）另一端固定自动定心镜架（18），光栅基底将固定在自动定心镜架（18）上；自动定心镜架（18）的中轴指向角度盘（7）正向，并与角度盘中心轴相交；

扩束镜（13）、半透半反镜（14）、CCD相机（15）和自动定心镜架（18）中心的水平高度相同。

2.根据权利要求1所述的全息变间距光栅曝光光路的装调装置，其特征是，微调滑块（9）包括滑块底座（9-1）、滑块上盖（9-2）、定位孔（9-3）、稳定齿轮（9-4）、调整齿轮（9-5）、固定齿轮（9-6）、摆臂卡槽（9-7）、角度显示盘（9-8）和旋钮（9-9）；固定齿轮（9-6）设置在滑块底座（9-1）上，用于限制稳定齿轮9-4和调整齿轮9-5；摆臂（11）位于摆臂卡槽（9-7）内；滑块上盖（9-2）介于摆臂（11）与滑块底座（9-1）之间；定位孔（9-3）可通过定位销（10）固定在定位槽（8）定位孔内，起固定滑块底座（9-1）的作用；稳定齿轮（9-4）起限制滑块上盖（9-2）移动轨迹的作用；旋钮（9-9）与调整齿轮（9-5）配合，可带动调整齿轮（9-5）转动，使滑块上盖（9-2）相对与滑块底座（9-1）移动。角度显示盘（9-8）在摆臂卡槽（9-7）左端面上，与调整齿轮（9-5）相连。

3.根据权利要求1所述的全息变间距光栅曝光光路的装调装置，其特征是，激光器（1）采用固体激光器，波长为543.8nm。

4.根据权利要求1所述的全息变间距光栅曝光光路的装调装置，其特征是，Y型单模光纤（3）的模场直径为3.5±0.5μm。

5.根据权利要求1所述的全息变间距光栅曝光光路的装调装置，其特征是，扩束镜（13）的放大倍率为20倍。

6.根据权利要求1所述的全息变间距光栅曝光光路的装调装置，其特征是，所用定位槽（8）底部，对应角度盘（7）的10°至170°，每5°处设置定位孔，精度为0.001°。